毕设开题报告(刘梦1100710014).docVIP

南京理工大学 Nanjing university of science and technology 毕业设计 硅微机械音叉陀螺电学等效模型的建立与仿真研究 院（系）名称 工程学院 专业名称 学生姓名 1100710014 指导教师 2014年月 本课题来源于南京理工大学MEMS惯性技术研究中心。 陀螺是一种感测运动体旋转的重要惯性元件，在航天、航海、航空、兵器以及一些民用领域中有着广泛和重要的应用。随着科学技术的发展，人们发现大约有一百多种物理现象可以用来感测运动体相对于惯性空间的旋转，并在此基础上，研究了许多不同类型的陀螺。 随着科学技术的快速发展，微机械电子系统（Micro Electromechanical System，MEMS）技术在军事与民用中得到越来越广泛的应用。硅微机械音叉陀螺是MEMS中一个典型的传感器，硅微机械陀螺仪与硅微加速度计的研究较为深入，它采用哥氏加速度效应来测量角速度。 研究意义 微机械制造工艺存在相对误差较大的特点，且在制造过程中还会引入寄生参数（如封装过程中引入寄生电容等），加工出的结构与设计值往往存在一定误差，导致陀螺性能的降低。通过建立完整的微机械结构电学模型并与测控电路一起仿真，可以帮助优化电路，提高陀螺性能。 研究现状 MEMS器件在国外已经有30多年的研究历史，其中美国，欧洲和日本等发达国家与地区都投巨资对惯性器件进行研究开发，技术水平也领先于国内。自上世纪80年代以来，较为著名的研究机构与公司有美国的Draper实验室、AD公司、LITTON公司、HONEYWELL公司和JPL公司，有法国的SAGEM公司、德国的LITEF公司和俄罗斯的VECTOR公司，另外韩国首尔大学与三星公司也具有一定名气。这些机构对硅微机械陀螺仪与硅微加速度计等惯性器件进行了较为深入的研究，谐振器在这些方面的应用也较为成熟，已有产品形成，下面介绍国内外的一些研究现状。 Draper实验室在谐振加速度计的研究方面开始较早，目前也处于世界领先地位。图1.1为其研制的硅微加速度计的振梁结构。 图1.1 振梁式硅微加速度计 德雷珀实验室于1993年研制成一种音叉线性振动陀螺仪，如图1.2。此陀螺的两块硅平板在静电力的作用下，做线振动，当底座相对惯性参考系以角速度旋转时，两平板在哥氏惯性力矩的作用下绕着支臂做角振动。 图1.2 音叉线性振动陀螺仪 研究方法及内容 研究方法 对谐振器进行数学建模，介绍谐振器的具体结构，并以硅微机械陀螺仪和硅微机械加速度计为具体例子进行建模，包括对其进行动力学分析、电压与静电力转换的建模、电容检测的建模，并在Matlab/simulink和Cadence/pspice建立模型。 然后进行实验验证，首先进行实验，测得谐振器品质因数与谐振频率，这样可以对表头进行建模，然后对陀螺仪对象开环驱动实验与仿真，对加速度计进行闭环驱动实验与仿真，对陀螺仪的动态电容进行测量，并建立simulink模型进行仿真验证。之后进行静态电容的测量实验还有动态电容实验，建立陀螺的Cadence/pspice的动态电容仿真模型。 研究内容 理解硅微机械音叉陀螺工作原理与信号控制原理； 理论分析陀螺微机械结构接口电容及寄生电容对检测电路的影响，并设计实验进行测试与验证。 以Cadence软件为仿真平台，建立完整的陀螺微机械结构电学等效模型。并在测控电路中进行完整的仿真。对比仿真与实验的测试结果，验证模型的正确性。 研究中可能存在的问题及解决方案 可能存在的问题 由于输入信号比较微弱，设计电路时电路元件数值大小需要精确控制，否则微小的变动会对输出造成很大的影。因为寄生电容的影响，对输出需要明确区分出直流信号和交流信号，并考虑他们之间的影响，设计好电路。 在模型的分析过程中可能不会很精确，由于设备不足需要忽略一些效应，陀螺的位置增益的来源问题比较麻烦，个人的实验能力也会对结果有很大的影响。 解决方案 1）增益补偿 对于电路中无法建模的电学元件可以通过增益来替代，但是这样有些电学元件的特性可能无法得到体现。 2）熟悉原理 对电学模型的原理有深入的了解对建模仿真和电路设计大有作用。 工作计划 个人任务计划 时间：2014年10月——2015年6月 月 主要任务目标 1 熟悉课题内容，了解Cadence的电路设计方式和matlab基本仿真，查阅资料，了解课题相关背景知识，为开题做准备，完成开题报告。 2 进一步查阅资料，多阅读国外文献，理解硅微机械音叉陀螺工作原理与信号控制原理，并掌握Cadence电路软件的基本使用。 3-4 1）学习Cadence软件allegro和PCB制版，熟练掌握Cadence软件的使用和电路的设计，绘制PCB板，进行简单的电路连接实验。 2）理论分析陀螺微机械