JU-WI-433主固化炉(A).docVIP

电子 深圳 有限公司 作 业 指 导 书 文件编号 JU-WI-433 版 本 A 首版日期 文件名称 主固化炉 页 序 1 of 2 1. 目的 规范设备维护人员对主固化炉的点检、认可工作。 2. 适用范围 本作业指导书适用于主固化炉。 3. 职责 设备维护人员应按照作业指导书操作。 4. 作业内容 4.1 点检 4.1.1 机械系统 4.1.1.1检查搬送滑臂在运行中动作是否平稳，真空吸盘是否完好，吸附效果是否良好。 4.1.1.2确认出入口C/V，搬送平台运行是否正常，搬送位置是否准确。 4.1.1.3 确认整列动作是否正常，整列效果是否良好。 4.1.1.4检查各螺杆、滑块、轴承润滑是否良好，运行中有无异常。 4.1.1.5 确认冷却水管道，排气管道密封良好。 4.1.2 电控系统 4.1.2.1检查触摸屏显示及控制是否正常。 4.1.2.2 检查各段温度显示与控制是否正常，确认温度显示是否准确。 4.1.2.3检查搬送滑臂搬送动作是否稳定，停留时间是否准确。 4.1.2.4 检查各感应器是否正常，感应是否灵敏。 4.1.2.5 检查控制箱各接线端子、接头有无松脱、接触不良、断线。 4.1.3 压缩气系统 4.1.3.1各气管接头有无破裂、漏气、松脱，油气过滤器有无脏污,检查并清洁。 4.1.3.2各层流罩是否工作正常,真空泵 真