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PECVD使用步骤 开机抽真空过程： 检查各阀门是否关闭，开水阀，总电源→机械泵→真空计→（开电磁阀Ⅰ→开蝶阀→当真空小于10Pa时，关蝶阀→关电磁阀Ⅰ）→开电磁阀Ⅱ→开分子泵电源→当分子泵频率稳定时，启动分子泵→开闸板阀G 实验过程： 关分子泵：关闸板阀G→停分子泵频率为0时，关分子泵电源→关电磁阀Ⅱ 启动罗茨泵：开真空计→开流量计（5分钟左右）与射频电源（10分钟以上）预热→当真空小于0.5Pa时，开手动截止阀调节真空→开气路电磁截止阀→开电磁阀Ⅰ→开蝶阀→启动罗茨泵 送气及调压步骤：关真空计，开薄膜压力计→开气压总阀→开减压阀（1格左右）→开气路截止阀→阀控→调节到所需气体流量→稍稍关闭蝶阀，至实验所需压强 ①射频电源：开灯丝开关，预热10分钟左右→开板压开关→调节旋钮至实验所需功率 ②偏压电源：偏压开关→调节旋钮至实验所需电压 ③热丝：先慢慢调节电流或电压旋钮（电流、电压旋钮不要同时扭动），待其稳定后→分别调节电流及电压旋钮至所需功率 关机过程： 依次逆时针调节旋钮到底，并关闭各电源（如射频、偏压电源） 关气步骤：开蝶阀→关薄膜压力计，开真空计→关气压总阀→关减压阀→适当增大气体流量，待流量回落时（腐蚀性气体流量回落到0），关气路截止阀→清洗→流量计为关闭档→关流量计→关气路电磁截止阀→关手动截止阀 停罗茨泵步骤：关蝶阀→关电磁阀Ⅰ→停罗茨泵 关真空计→停机械泵→关闭总电源→关循环水→关闭空切开关 注意事项： 真空室暴露大气前一定要关紧闸板阀G，以免损坏分子泵； 系统起辉时要关闭电离规（此时真空室压强变化大，以免损坏电离规）； 突然停电时，所有开关按钮要复位（特别是电磁阀，以免突然来电时冲击并损坏电磁阀），过5－7分钟后才能重新启动分子泵； 在取出或更换样品时，要注意真空室的清洁 必须戴手套操作 ； 升盖前一定要先放气及拔掉射频插座，降盖时注意各方位对齐； 系统由大气抽低真空过程中，禁止开烘烤灯与照明灯； 开启装置前，检查放气阀等阀门是否关紧，电源是否接通，水阀是否开启，机械泵分子泵的油标，以及所有仪表电源开关是否处于关闭状态； 加热功率为6—7圈左右，注意加热温度与炉丝颜色关系，暗红停止加热； 开机、关机前用氮气稀释系统，开机前注意机械泵正反转。