《传感器教学课件》第4章 电容式传感器.pptVIP

1 第4章作业 电容式传感器是如何分类的？ 为什么说必须使硅电容式压力传感器集成化才有实际使用价值？ 采用运算放大器作电容传感器的测量电路，其输出特性是否为线性？一般在什么情况下使用？ 电容式传感器极板间放置云母片的作用是什么？ 4.5 电容式传感器的测量电路 电容式传感器除采用电桥作为信号调理电路外，还可借助多种信号调理电路把微小的电容变化转换成与之成正比的电压、电流或频率输出。 一、运算放大器测量电路 二、电桥电路 三、二极管T形网络 四、差动脉冲宽度调制电路 五、调频测量电路 六、谐振电路 一般运算放大器的放大倍数 K 非常大，而且输入阻抗 Zi 很高，运算放大器的这一特点可以作为电容传感器的比较理想的测量电路。 Cx 为电容传感器。a点为虚地点， 。Zi 很高， ，根据克希霍夫定律： 一、运算放大器测量电路 如果传感器是一只平板电容，则 运算放大器的输出电压与极板距离d 成线性关系。 注意：上式是在K→∞、Zi→∞的前提下得到的。由于实际的运算放大器的放大倍数K和Zi总是一个有限值，所以，该测量电路仍然存在一定的非线性误差；当K、Zi足够大时，这种误差相当小，可以使测量误差在要求范围之内。 优点： 解决了单个变极距式电容传感器的非线性问题。 当在结构上不易采用差动电容