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萍乡高等专科学校 PINGXIANG COLLEGE 毕 业 论 文 （2011年） 题 目 高纯多晶硅的生产工艺与制备方法 系 别： 化 工 系 专 业： 光伏材料加工与应用技术 班 级： 0 9 光 伏 学 号： 0 9 3 6 6 0 1 9 学生姓名： 李 柯 指导教师： 邓 爱 平 完成日期： 2011 -11 -20 摘要 摘要  有关高纯多晶硅的研究在我国起步并不晚，而且投入高纯多晶硅研究的单位也很多，有北京有色金属研究院、上海有色金属研究所，还有一些院校和企业单位。五十年代末，进行了SiCl4氢还原实验研究，进入六十年代进行了SiHCL3氢还原法研究，取得了比较快的进展，取得了可喜的成果。在SiHCL3合成方面，也应用了Si+HCL——SiHCL3的路线，并成功地获取了SiHCL3，在SiHCL3提纯方面，主要是进行了填料塔实验，或膜式操作，或乳化操作，也取得了较好的效果。1963年，用SiHCL3氢还原法获得的高纯多晶硅，经直拉法，不搀杂拉制成单晶测试结果是N型，P100Ω.cm。应该说西门子法生产高纯多晶硅的技术在我国已臻成熟。 1.2 、半导体和光伏产业主要材料 第二章、高纯多晶硅的制备方法 2.1概述 2.2常见的三种制造方法 2.3 三氯氢硅还原法 2.4硅烷热分解法 2.5物理提纯法 2.6流化床法 太阳能级多晶硅新工艺技术 3.1冶金法生产太阳能级多晶硅 3.2气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅 3.3重掺硅废物提纯法生产太阳能级多晶硅 第四章、国内和国外多晶硅厂的设备技术比较. 4.1概述 4.2国外多晶硅生产技术发展的特点 4.3国内多晶硅技术发趋势 6.3主要研发项目 正文 引言 进入21世纪以来,光伏产业取得飞速发展,其发展速度居各种新能源或可再生能源行业之首,加上半导体行业每年以5％以上的增速发展,高纯硅材料(包括光伏行业和半导体行业)也在全球范围内呈现出供不应求的局面,并且缺口越来越大,特别是最近几年,全球高纯硅材料缺口均在5000t以上,预计未来几年时间里缺口将继续扩大并将达到10000t以上。由于高纯多晶硅出现全球性的短缺,其价格也不断上扬,集团内部价格已从2003年的20～30美元/千克增至现在的80～90美元/千克,自由市场的价格更是高达300美元/千克。多晶硅这一环节已经严重影响了整个太阳能光伏发电市场,在整个产业链中成为一个急需解决的瓶颈有关高纯多晶硅的研究在我国起步并不晚，而且投入高纯多晶硅研究的单位也很多，有北京有色金属研究院、上海有色金属研究所，还有一些院校和企业单位。五十年代末，进行了SiCl4氢还原实验研究，进入六十年代进行了SiHCL3氢还原法研究，取得了比较快的进展，取得了可喜的成果。在SiHCL3合成方面，也应用了Si+HCL——SiHCL3的路线，并成功地获取了SiHCL3，在SiHCL3提纯方面，主要是进行了填料塔实验，或膜式操作，或乳化操作，也取得了较好的效果。1963年，用SiHCL3氢还原法获得的高纯多晶硅，经直拉法，不搀杂拉制成单晶测试结果是N型，P100Ω.cm。应该说西门子法生产高纯多晶硅的技术在我国已臻成熟。有关高纯多晶硅的研究在我国起步并不晚，而且投入高纯多晶硅研究的单位也很多，有北京有色金属研究院、上海有色金属研究所，还有一些院校和企业单位。五十年代末，进行了SiCl4氢还原实验研究，进入六十年代进行了SiHCL3氢还原法研究，取得了比较快的进展，取得了可喜的成果。在SiHCL3合成方面，也应用了Si+HCL——SiHCL3的路线，并成功地获取了SiHCL3，在SiHCL3提纯方面，主要是进行了填料塔实验，或膜式操作，或乳化操作，也取得了较好的效果。1963年，用SiHCL3氢还原法获得的高纯多晶硅，经直拉法，不搀杂拉制成单晶测试结果是N型，P100Ω.cm。应该说西门子法生产高纯多晶硅的技术在我国已臻成熟。Hemlock W acker M EMC ASiMi Tokuyama KomatsuMitsubishi、SEH等公司。 太阳能光伏产业发展至今已有几十年的历史,晶体硅太阳电池始终是商品化太阳电池的主流,约占据整个太阳电池市场的90％ ,国际市场上98％ 以上的光伏电池都是利用高纯多晶硅制备的。近年来随着光