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主要内容 Medici仿真 SOI简介 结终端 ENDIF理论 Medici Medici是先驱（AVANT！）公司的一个用来进行二维器件模拟的软件，它对势能场和载流子的二维分布建模，通过解泊松方程和电子、空穴的电流连续性等方程来获取特定偏置下的电学特性 Medici仿真 一 程序讲解 二 仿真技巧和经验总结 程序讲解 宏定义（可有可无）+网格+材料定义+电极+ 掺杂+模型和算法+求解 宏定义： ASSIGN NAME N.VAL ASSIGN NAME W N.VAL 36 ASSIGN NAME Nd N.VAL 1e15 profile region topsi n-type n.peak @Nd uniform 网格： MESH:初始化网表的生成 X.MESH:描述X方向上的网格线的位置 Y.MESH:描述Y方向上的网格线的位置 ELIMINATE:沿着网格线缩减节点 SPREAD:沿着水平网格线调整节点的垂直位置 BOUNDRY:调整模拟的网表以适应边界的界面 REGRID可以用来用来对这种网格进一步优化. 网格定义的几种方法 1 Y.MESH N 1 L -0.025 Y.MESH N 3 L 0 2 Y.MESH DEPTH 1.0 H1 0.125 3 y.mesh loc -0.6 spac 0.1 y.mesh loc 1 spac 0.2 4 y.mesh loc 0 h1 0.1 y.mesh loc 2 h1 0.2 5 y.mesh width 10 h1 0.1 5 SPREA D RIGHT WIDTH .625 UP 1 LO 3 THICK .1 这个SPREAD语句将前三条网格线的在右边的间隔从栅区氧化层厚度过渡到0.1微米 减稀网格的语句 材料定义 region name sio x.min 0 x.max 4 +y.max 0 oxide region name si x.min 0 x.max 4 +y.min 0 y.max 4 silicon 定义sio区低K，在掺杂之后定义介电常数 material region sio permitti 2 Loop step 6 ASSIGN NAME TRCH N.VAL 0 DELTA @W+@D REGION NAME A POLYG oxide +X.PO @TRCH,@TRCH+@D,@TRCH+@D,@TRCH + Y.PO @Ts-@H,@Ts-@H,@Ts,@Ts l.end 电极 electrode name source x.min 0 x.max 2.5 +y.max 0 void electrode name source x.min 0 x.max 2.5 +y.max 0 热电极： electrode name heat bottom thermal 掺杂 profile region topsi n-type n.peak @Nd uniform profile region topsi p-type n.peak 5e16 +x.erfc xy.ratio 0.8 x.max 6 y.junction 5 模型和算法 复合: SRH | CONSRH SRH复合/与浓度有关的SRH复合 R.TUNNEL 带带隧穿 AUGER 俄歇复合 能带相关的模型: BGN 禁带变窄效应 FN.CUR Fowler-Nordheim tunneling model BOLTZMAN | FERMIDIR 统计分布 INCOMPLE 不完全电离 IMPACT.I 碰撞电离 电场相关 II.TEMP 碰撞电离 载流子温度相关 BTBT 隧穿引起载流子增加 迁移率: CONMOB ANALYTIC ARORA CCSMOB PHUMOB LSMMOB SRFMOB SRFMOB2 UNIMOB PRPMOB LSMMOB GMCMOB TFLDMOB HPMOB HPMOB FLDMOB TMPMOB # ND.MOB C.ND.MOB # E.EFFECT EJ.MOBIL EHSCAT 量子效应: QM.PHILI QM.NORP QM.EFIEL QM.METHO 热电子和栅电流: GATE1 GATE2 GATE.SUR GATE.GEN GATE.TEM 自热效应 晶格温度 : TMPDIFF 热扩散项参数 ET.MODEL 能量平衡方程 与各种模型相关 EF.TMP EFI.TMP COMP.ET EBLT.HT TMPTAUW