纳米压痕方法在材料研究中的应用培训课件.pptVIP

纳米压痕方法在材料研究中的应用 汇报人： 陈聪 汇报内容 一 薄膜材料的相关力学性能测试 二 材料中相变的研究 三 材料的微区力学性能表征 四 晶体学缺陷的相关研究 五 展望与存在的问题 概述 传统材料力学性能测试方法的局限 纳米压痕技术也称深度敏感压痕技术，是最简单的测试材料力学性质的方法之一，可以在纳米尺度上测量材料的各种力学性质。 薄膜材料的相关力学性能测试 硬度(H)、模量(E)和断裂韧性(K)是薄膜材料最关键的几个力学性能指标。 1.在传统测试方法中，薄膜的硬度可以通过微型维氏或者努普硬度压头进行测量；薄膜的模量则通过拉伸试验机法、鼓胀测量法或者超声波测速法进行测量。 不足之处：装置复杂、参数较多，精度较差、效率较低。 薄膜材料的相关力学性能测试 2.纳米压痕方法具有操作方便、样品制备简单、测量和定位分辨力高、测试内容丰富等特点，通过连续记录载荷和压人深度两种参数以分析材料多种力学性能 。 由于不能精确地计算出压头和薄膜的接触面积，使测量的硬度值偏离真值。解决办法： 材料中相变的研究 利用纳米压痕方法可以测量出材料的载荷一位移曲线，它可以反映出压头压入过程中材料是否发生了固态相变。 1.利用纳米压痕研究48.28%Ti-51.72%Ni薄膜伪弹性特点，其载荷--位移曲线(图1)表明，在相同外力加载条件下，随着热处理温度的升高，Ti—Ni薄膜的弹性恢复程度越明显。 材料中相变的研究 2.利用纳米压痕法使用球形压针研究Ti--50.2%Ni块状金属的形状记忆效应，其载荷一位移曲线如图2所示。压头压入过程中的高形变回复率证明了应力诱发马氏体转变的发生。 材料的微区力学性能表征 利用纳米压痕方法分析材料微区的力学性能。 1.利用纳米压痕方法测试Ti一6Al一4V合金中α相的硬度和模量。图3为α相中压痕的形貌。实验结合EBSD方法分析了晶体学取向。 材料的微区力学性能表征 2.图4是不同压点所在晶面的反极图，代表了测试平面上不同晶粒的取向在3个特征晶体学方向的投影。 3.碳化物的硬度和断裂韧性。 利用纳米压痕的方法可以测量其硬度和断裂韧性指标，研究结果表明MC-3型碳化物具有高硬度、高断裂韧性特点。 晶体学缺陷的相关研究 研究材料中晶体学缺陷的存在形式和变化规律；探索晶体学缺陷自身发生变化后在位移载荷曲线中的反应。 1.研究Ti-6Al一4V合金中不同晶体学取向的a相压痕下方位错分布特点。解释了力学性能各向异性的原因。 2.晶界研究领域。利用透射电子显微镜中的原位纳米压痕平台研究Mg原子对A1一Mg薄膜中晶界可动性的影响，实验过程如图5所示。 晶体学缺陷的相关研究 3.材料晶体学缺陷的变化会影响材料的力学性能，硬度的变化可以通过维氏硬度等方法测量，而尺度较小的材料中晶体学缺陷的变化可以通过纳米压痕予以检测。 展望与存在问题 1.展望 从原子量级到微米级研究材料各种性能的重要途径；发展潜力广泛。 2.问题 （1）研究较少，并没有完整的力学模型 （2）尚未发现滑移受阻时孪生主导的变形机制。 （3）变温测试平台尚未完善。 参考资料 1.王力衡，黄运添，郑海涛．薄膜技术[M]．北京：清华大学出 版社，1991：143 2.田民波，刘德令．薄膜科学与技术手册(上册)[M]．北京：机械工业出版社，1991：167 3.张泰华．微／纳米力学测试技术及其应用[M]．北京：机械工业出版社，2004：4 4. KingR B．Elastic analysis of some punch problems for a layered medium[J]．Int J Solids Struct，1987，23：1657 5.Ranjana Saha，William D Nix．Effects of the substrate on the determination of thinfilm mechanical properties by nanoindentation [J]．Acta Mater，2002，50：23 6.Seung Min Han，Ranjana Saha，William D Nix．Determining hardness of thinfilms in elastically mismatched film-on-sub—strate systems using nanoindentation[J]．ActaMater，2006，54：571 * 图1 最大载荷为10mN、经不同条件热处理后的Ti—Ni薄膜的载荷一位移