粒子同固体相互作用物理学-第1章2016.ppt

2、全方位浸没离子注入 将注入的工件置于等离子体中，加上负电压，于是等离子体中的正离子则奔向工件而注入到工件表面。 特点：全方位离子注入，可加工复杂的工件。 3.工业用强流金属离子注入机（MEVVA源） 美国伯克利实验室工业用金属MEVVA源注入机，束斑直径0.5m，引出电压50KV，最大脉冲束流可达7A，平均束流强度50～100mA 北师大工业试验用MEVVA源离子注入机束斑直径0.2～1m，引出电压30～70KV，平均流强0～50mA，靶室直径大于2m. MEVVA源离子注入机的优点： 设备结构简单 离子种类多，几乎所有的导电物质 多电荷态，低电压可获高能量，不需要专门的加速系统 束流大，宽束 纯度较高，不需要分析器 可做多元素同时注入 国产多功能离子改性注入机 无分析器 气体 金属 辅助 溅射 四种离子源 一台好的离子注入机所满足的条件： ⑴合适可调的能量范围： 50～400KeV （掺杂） 1～3MeV （分析、高能注入） 100～300KeV （注氧机） ⑵合适的束流强度 对半导体、离子束分析：1μA～100μA 对SOI材料：几十～100mA 对材料改性：几mA～100mA ⑶良好的均匀性 不均匀性在1%以下 ，一般达到0.7% （对材料改性无此要求） ⑷合适的离子种类 对Si: B, P, As