现代分析测试技术 扫描电镜new.pptVIP

* 入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射作用而损失的那部分能量（30～50eV）激发核外电子脱离原子，能量大于材料逸出功的价电子可从样品表面逸出，成为真空中的自由电子，此即二次电子。 二次电子的分辨率可达5～10nm，即为扫描电镜的分辨率。 * * * * * * 俄歇电子二次电子的空间分辨率最高； 背散射电子的空间分辨率次之； X射线信号的空间分辨率最低。 * SEM的工作原理可以简单的概括为光栅扫描，逐点成像。 电流加热灯丝，使灯丝发射热电子；并经过阳极和灯丝之间的强电场加速得到高能电子束；栅极的作用是利用负电场排斥电子使电子束得意汇聚。 洛伦兹力方形判断：左手法则：左手定则:? 伸开左手?让磁感线穿入手心?（手心对准N极,?手背对准S极）四指指向电流方向?（既正电荷运动的方向）?那么拇指的方向就是导体受洛伦兹力的方向。 * 因背散射电子室被样品原子反射回来的一部分电子，具有较高的能量，背散射电子探测器一般置于样品的上方。 当检测二次电子时，法拉第网杯上加200～500V正偏压（相对于试样），吸引二次电子，增大检测有效立体角。 当检测背散射电子时，法拉第网杯上加50V负偏压（相对于试样），阻止二次电子到达检测器，并使进入检测器的背散射电子聚焦在闪烁体上。 一种利用射线引起闪烁体的发光而进行记录的辐射探测器 。射线同闪烁体相互作用，使其中的原子、分子电离或激发，被激发的原子、分子退激时发出微弱荧光 见固体发光 ，荧光被收集到光电倍增管，倍增的电子流形成电压脉冲，由电子仪器放大分析和记录。利用这种现象可探测带电粒子。 * α角越大，二次电子产额越高，这表明二次电子对样品表面状态非常敏感。 越是尖端的部分，二次电子越多，越亮。 * 如图，在二次电子图像中，只有表面起伏的形貌信息；而在背散射电子图中，铅富集的区域亮度高，而锡富集的区域相对较暗 * * 当电子束射入重元素样品中时，作用体积不呈滴状，而是半球状。电子束进入表面后立即向横向扩展，因此在分析重元素时，即使电子束的束斑很细小，也不能达到较高的分辨率。此时，二次电子的分辨率和背散射电子的分辨率之间的差距明显变小。 * 由图知，俄歇电子和二次电子因其本身能量较低以及平均自由程很短，只能在样品的浅层表面内逸出，在一段情况下能激发出俄歇电子的样品表层厚度约为0.5-2nm，激发二次电子的层深为5-10nm范围。 * 由图知，俄歇电子和二次电子因其本身能量较低以及平均自由程很短，只能在样品的浅层表面内逸出，在一段情况下能激发出俄歇电子的样品表层厚度约为0.5-2nm，激发二次电子的层深为5-10nm范围。 * 在其它条件相同的情况下 如信号噪音比、磁场条件及机械振动等 ，电子束的束斑大小、检测信号的类型以及检测部位的原子序数是影响扫描电子显微镜分辨率的三大因素 * 由于显微镜的荧光屏尺寸是固定不变，电子束在样品上扫描一个任意面积的矩形时，在阴极射线管上看到的扫描图像大小都会和荧光屏尺寸相同。 因人眼的分辨本领约为0.2 mm, 放大后，要使人感觉物像清晰，必须使电子束的分辨率高于临界分辨率d0 ： * 找 * 找 * 找 * 找 * 样品室内集成有各种探测器：如二次电子探测器（SE），被散射电子探测器， 电子束的滴状作用体积示意图 能量较低 平均自由程较短 样品的浅层表面内逸出 尚未向横向扩展 理想情况下，这两种电子的分辨率就相当于束斑的直径 约为5~10 nm 。 电子束的滴状作用体积示意图 能量较高 穿透能力较强 样品的较深区域逸出 有较宽的侧向扩展 背散射电子的分辨率比二次电子像低 一般在50~200 nm 。 若用吸收电子、X射线、阴极荧光等调制成像，由于这些信号均来自于整个电子束散射区域，使所得扫描像分辨率比背散射电子更低，一般在l00 nm或l000nm以上不等。 电子束的滴状作用体积示意图 2、放大倍数高 扫描电镜的放大倍数 M Ac /As 。 Ac--荧光屏上图像的边长（固定值，一般100nm） As--电子束在样品表面扫描的幅度 我们只要减小镜筒中电子束的扫描幅度，就可以得到高的放大倍数，反之，放大倍数就减小。 例如荧光屏的宽度Ac ＝100 mm时，电子束在样品表面扫描幅度As 0.005 mm 5 μm ，放大倍数为20000倍。 3、景深D大 景深是指焦点前后的一个距离范围，该范围内所有物点所成的图像符合分辨率要求，可以成清晰的图像；也即，景深是可以被看清的距离范围。 扫描电子显微镜景深比一般光学显微镜景深大100-500倍，比透射电子显微镜的景深大10倍。由于图像景深大，所得扫描电子像富有立体感。 电子束的发散度很小，其景深取决于临界分辨本领d0和电子束入射半角αc。 与放大倍数有关 放大倍数 M 降低、入射电子角 αc