电子显微01概览.ppt

2006-10-09 电子显微分析之电子光学基础 材料化学研究方法 第四章 电子显微分析 4.1 概述 4.2 电子光学基础 4.3 电子与物质的相互作用 4.4 透射电镜 4.5 扫描电镜 4.6 电子显微其它分析技术 相似点 几何光学是利用透镜使光线聚焦成像，电子光学利用电场或磁场使电子束聚焦成像。 几何光学中，一般是利用旋转对称面（如球面）作为折射面，而在电镜成像系统中，是利用旋转对称的电、磁场产生的等位面作为折射面。 可以引入一系列的几何光学参量（如焦点、焦距）来表征电子透镜对电子射线的聚焦成像作用。 电磁透镜 静电透镜（早期使用） 磁透镜 磁透镜与光学透镜的比较 静电透镜 与一定形状的光学介质界面可以使光线聚焦成象相似，一定形状的等电位曲面簇也可使电子束聚焦成象，产生这种旋转对称等电位曲面簇的电极装置称为静电透镜。 静电透镜多用于早期的电子显微镜中。 磁透镜 在电子光学系统中用于使电子束聚焦成象的磁场是非匀强磁场面，其等磁位面形状与静电透镜的等电位面或光学玻璃透镜的界面相似。 旋转对称的磁场对电子束有聚焦成象作用 磁透镜 由于静电透镜从性能上不如电磁透镜，所以在目前研制的电子显微镜中大都采用电磁透镜，较广泛的为极靴磁透镜。 它由一个铁壳（A），一个螺旋管线圈（B）和一对中间嵌有黄铜的极靴（C）组成的 。 分辨本领与像差 4.3 电子与固体物质的相互作用 X射线衍射分析是以电磁辐射或电磁波与材料的相互作用，从而产生衍射信号的一种检测方法。 对于电镜来说，物质波（主要指电子）与材料的相互作用从而产生各种信号的检测方法。 相互作用的物理过程 入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体物质时，与固体中粒子的相互作用的物理过程包括： 1、入射电子的散射；（源于库仑相互作用） 2、入射电子对固体的激发 3、内层电子受激发后的弛豫过程 电子散射 散射：当一束聚焦电子束沿一定方向射入试样内时，在原子库仑电场的作用下，入射电子方向改变，称为散射。 弹性散射 非弹性散射 原子对电子的散射 原子核对电子的弹性散射 原子核对电子的非弹性散射 核外电子对入射电子的非弹性散射 核外电子对入射电子的散射 电子与电子相撞，质量相差不大，容易引起能量的损失 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的能量部分转变为热，部分使物质产生各种激发现象。 因为这些激发现象都是入射电子作用的结果，所以称为电子激发。 内层电子激发后的弛豫过程 弛豫过程：当内层电子被运动的电子轰击脱离了原子后，原子处于高度激发状态，它将跃迁到能量较低的状态，这种过程称作弛豫过程。 它可以是辐射跃迁，即特征X射线 标识X射线 发射，也可以是非辐射跃迁，如俄歇电子发射，这些过程都具有特征能量。 背散射电子IB 背散射电子：指被固体样品原子反弹回来的一部分入射电子。 即这部分的总散射角 90° ） 弹性背散射电子：没有进入固体内部 非弹性背散射电子：进入固体内部，再出！ 二次电子IS 二次电子：它是在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的核外电子。 特征二次电子（俄歇电子）：激发态原子退回基态时产生的！带有材料的结构信息。 二次电子与背散射电子 探测器不能区分能量相近的二次电子和背散射电子。 一般规定把能量低于50eV的电子作为“二次电子”，而高于50eV的电子归入背散射电子。 吸收电子IA 入射电子进入样品后经过多次非弹性散射能量损失殆尽，最后被样品吸收，这种电子称为吸收电子。 吸收电子可以进行定性成分分析 透射电子IT 当试样厚度小于入射电子的穿透深度时，入射电子将穿透试样，从另一表面射出称为透射电子 透射电子的信号是由试样微区的厚度、成分和晶体结构来决定的。 所有这些发射信号的强度均与固体材料的结构，成分，表面状态等性质有关，同时，受入射电子能量和入射角度的影响。 如果我们控制一下入射电子的能量与入射角度的话，我们就可以借助这些信号的变化来进行材料结构，成分，表面状态的分析。 相互作用体积 电子进入到固体后，仅在一定范围内与固体相互作用，或者说：电子与物质的相互作用有一定体积范围。 这个体积范围就称为相互作用体积范围。 原因：存在扩散或漫散射过程 影响因素 相互作用体积的形状和大小决定了各种物理信号产生的深度和广度范围。 试样原子序数 入射电子的能量 电子束入射方向 * * * 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。包括： 透射电子显微镜进行的透射电子显微分析 扫描电子显微镜进行的扫描电子显微分析 电子探针仪进行的X射线显微分析 4.1 概述 4.2 电子光学基础 电子光学是研究带电粒子（电子、离子）在电场和磁场中运动，特别是在电场和磁场中偏转、聚焦和成像规律的一门科学。 与研究光线在光学介质中传播规律