电子显微3概览.ppt

第三章、 弹性散射 TEM像的衬度主要是由弹性散射电子产生的 散射电子也形成了电子衍射图的强度分布 研究弹性散射的方法 单个、孤立原子的弹性散射 多个原子的弹性散射 使用电子的波动性与粒子性 弹性散射的分类 非相干散射：卢瑟福(Rutherford)大角散射 相干散射：小于3o的弹性散射，即小角散射，强度强烈地受到样品内原子排列的影响， 如此源自于原子集体的散射被称为衍射 衍射主要由入射电子束与样品中原子平面的入射角度、原子之间的距离以及原子面等因素所控制 小角弹性散射亦即衍射对样品晶体结构的表征作用不可估量 ，是TEM中最有意义的散射现象。 散射并不总是遵守几何光学法则，因为光是一种波 使用电子的波动性去处理衍射这一概念在TEM中是一个很重要的基本概念 3.1 粒子与波 电子是粒子，因此它们具有如下特性： 电子具有散射截面和微分散射截面； 它们可以通过一定的角度进行散射； 电子与原子核通过库伦力进行相互作用； 我们可以将电子的散射同其它粒子的散射联系起来，如a粒子，其它系统的一些分析可以照搬过来。 当讨论X-ray和电子光谱时都将使用这种粒子描述。 电子具有波动性，并且电子束几乎是平面波，因此： 波能够通过原子或“散射中心”发生衍射； 散射波的强度由散射振幅决定； 可以将电子衍射与X-ray散射的过程联系起来，而许多关于X-ray的分析已经很完善。 当讨论成像、高分辨像以及衍射图时主要采用波动性描述。 3.2 弹性散射机制 可以将弹性散射分成两种主要的形式 单个孤立原子的电子散射 电子波与样品中原子集合体之间的相互作用，即把样品看成是一个整体的散射 (衍射 ) 3.3 孤立原子的散射 仅仅考虑一个电子(e)与一个孤立原子的情况，那么电子与电子、电子于原子核散射截面可以用两个十分简单的公式(Hall 1953)进行表达 3.4 Rutherford 散射截面 大角度电子与原子核之间的相互作用微分截面表达式： 可以将上述表达式加以改进，变成孤立原子对电子散射的形式，用以说明TEM中厚度为t的电镜样品中原子的散射， 3.5 Rutherford 散射截面的修正 你可能会经常见到不同的Rutherford微分散射截面表达式 ，但在数学形式上其实它们都是相同的。这里给出的表达式忽略了周围电子云的屏蔽效应，而屏蔽效应实际上起到降低微分散射截面的作用，即降低散射事件发生的数量。换句话说，当电子穿过原子核时，如果离原子核不是很接近，散射角度将会很小(小于5o)，这主要是因为屏蔽效应此时发挥了非常重要的作用。如果我们希望更好地了解屏蔽效应的影响，我们可以用[sin2(q/2)+(q0/2)2]来替代sin2(q/2)项，这里q0被称为屏蔽常数，由下式给出： 你可能会注意到上述方程是在未考虑到相对论效应的情况下得到的，不幸的是在TEM中当电子的能量超过100keV时，相对论效应变得很显著，我们可以根据相对论效应进行修正，从而给出一个更为精确的微分散射截面，相对论修正的波长可以用lR来表示，此时散射原子的半径也必须由波尔(Bohr)半径a0来代替： 具体的数据 Rutherford 散射界面随散射角度的变化情况， a) 不同元素，b) 不同电压 在样品厚度低于100nm情况下，几乎没有大角弹性散射事件发生，因此，可以放心地使用我们多次提到过的单原子散射近似，这也正是TEM为什么要使用薄样品的原因所在。 3.6 Rutherford 散射电子的相干性 到目前为止我们一直是将电子看成是粒子，即考虑的是电子的粒子性，但如果我们检验散射电子的波动性，我们将会获得一些电子散射方面十分有用的并且十分深入的了解。散射电子波的干涉就是一种有区别的特征。大角Rutherford 散射电子是不相干的，即电子波的位相不是同步的，如此不同步的非相干散射在两个方面具有重要的影响： 其一，大角向前散射可以用于形成晶体样品额外的高分辨像，此时像衬度是由原子序数Z值的不同造成的，而不是通常的小角散射情况下样品的晶体取向引起的衬度。如此的原子序数衬度为我们提供了定性的原子分辨的微分析技术，可以为我们提供界面处不同区域间由于原子序数Z不同造成的原子分辨水平的差异的一些细节情况，这是一种较新的分析技术，可能会使我们对材料的理解带来革命性的影响。 其二， 大角背散射电子可以用来形成样品入射表面的图像，该图像的衬度不仅仅是由于原子序数Z引起的，还同样品表面的形貌特征的变化密切相关。 在TEM中很少使用背散射电子进行成像，这主要是由于TEM薄样品中的背散射信号极弱，回过头来看一看上一章中的Monte Carlo模拟结果，可以看出，Cu中的103个入射电子中仅有3个(0.3%)是背散射电子，其中只有1个可以逃离样品的表面，因此，信