KEITHLEY四探针操作手册讲稿.docVIP

南开大学 硅光电子学与储能实验室 Four-Point Probe Operation | 2011  四探针操作说明书 Four-Point Probe Operation 第1章 引言 1 1. 目的 1 2. 应用范围 1 3. 测试设备 1 ? 四探针 1 ? 数字电压源表 2 第2章 原理简述 3 1. 薄膜(厚度≤4mm)电阻率： 3 2. 薄膜方块电阻 3 第3章 操作方法 5 1. 引言 5 2. 测试线连接方式 5 3. KEITHLEY 2400高压源表设置指南 6 4. 探针接触方式 8 5. 数据测试指南 8 第4章 注意事项 10 附表 I 引言 目的 本说明书主要介绍用四探针法测试薄膜方块电阻及电阻率的原理及具体操作方法。 应用范围 测量参数：方块电阻，电阻率 测量样品：均匀薄膜，均匀薄片 方块电阻测试范围：0.01?～500M? 电阻率测试范围：10-5??cm～103??cm 样品大小：直径1cm 精度：±5% 测试设备 四探针 生产厂商： 广州四探针有限公司RTS-2型 基本指标： 间距：1±0.01mm； 针间绝缘电阻: ≥1000MΩ； 机械游移率: ≤0.3％； 探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm； 探针压力：5～16 牛顿(总力)； 使用环境： 温度:：23±2℃； 相对湿度：≤65％； 无高频干扰； 无强光直