美军标光洁度检验培训讲义.ppt

光洁度抽样比例培训 光学QE 李冰晶 2008.3.29 目录 1.光洁度 1.1 光洁度标准的来源 1.2 光洁度名词的定义 1.3 划痕分析 1.4 麻点分析 1.5 其他不良分析 2.抽样比例 2.1 抽样检测的定义 2.2 抽样检测的流程 2.3 一次抽样流程 2.4 抽样检测类型 2.5 抽样图表识别 2.6 简易抽样图表识别 1.1光洁度标准的来源 我司采用的光洁度标准源于美军标MIL-PRF-13830B，对于道子和点子的具体大小，我们根据对美军标规定的军标板进行的实际测量得出，并根据美军标的定义设定了高意光学的光洁度标准。 同时，我们参考了Newport，Avanex，Oplink，JDSU等公司的光洁度标准，从我司与这些公司的实际测量比对上看，我司的光洁度标准定义是比较合理的。 1.2光洁度名词的定义 ⑴表面缺陷：高意光学光洁度定义对表面缺陷用以 “ / ”或“ - ”连接的两个数字来表示表面缺陷的大小。 例如 40/20（或40-20）前者规定了划痕大小，后者规定了麻点大小。 ⑵划痕（也叫道子、亮路）：若客户无特殊要求，规定长宽之比大于等于4:1的缺陷为划痕，它是元件表面上的任何狭长的痕迹或磨损。它对光非常敏感 。 ⑶麻点（也叫点子、斑点、坑点）：若客户无特殊要求，规定长宽之比小于4:1的表面缺陷为麻点，它是元件抛光、镀膜表面上的粗糙小斑点。它对光不敏感。 注：长宽之中的长宽指表面缺陷的长度与宽度的最大尺寸 1.2光洁度名词的定义 ⑷气泡：元件内部的球形气穴。 ⑸灰斑：指元件表面抛光不完全的灰色物，它来源于磨砂遗留物。 ⑹等效直径（产品的实际外观尺寸）: 非圆形零件的计算直径应取相等面积圆的直径。 对于长与宽的比小于5:1的长方形元件 等效直径 （长+宽）÷2 对于长与宽的比大于5:1的长方形元件 等效直径 √ 长×宽 ÷ π ×2 （π≈3.14） ⑺缺陷间距离：两缺陷间的最小距离 1.2光洁度名词的定义 ⑻有效孔径：若图纸有要求则按图纸，否则按80％控制。 例如产品通光面长宽为1mm×1mm，图纸要求90％有效孔径，那么我们取其边长的90％，即有效孔径为0.9mm×0.9mm。 ⑼不同区域光洁度要求：当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，等效直径的计算分区域进行： 表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准（如有效孔径的区域） 表面质量要求低的外区域，有效孔径外的光洁度可降两档（只适用于抛光表面，对镀膜表面只需保证有效通光孔径内的光洁度即可，除非客户另有要求），但是等效直径计算的是整体元件的 包括内区域 。 例如元件表面质量要求不同， 则在判定A区是否符合要求时， 应取内圆直径（D1）进行计算。 而B区则取整个元件的圆直径（D2） 1.2光洁度名词的定义 ⑽检测设备与检测方法：若定单有明确要求，按定单要求检验，若无要求则按以下方式检验 。 1 当元件等效直径≤2mm 检测方法：用放大倍率40倍的体式显微镜通过透过与反射法观察元件抛光、镀膜表面 检测设备：体视显微镜自带灯 2 当 Φ2mm 元件等效直径 Φ10mm 检测方法：检验时产品与灯泡的距离在灯罩下方0-3cm,灯罩前方0-5cm, 眼睛与产品的距离为10-20cm，8倍放大镜用透过与反射法观察元件抛光、镀膜表面 检测设备：60瓦白炽灯，黑背景 3 当元件等效直径≥Φ10mm, 检测方法：检验时产品与灯泡的距离在灯罩下方0-3cm,灯罩前方0-5cm,眼睛与产品的距离为10-20cm.通过肉眼观察用透过与反射法观察元件抛光、镀膜表面。 检测设备：60瓦白炽灯，黑背景 练习一 问题： 1.某玻璃元件上有一个长3mm，宽0.5mm的缺陷，请问此缺陷属于点子还是道子？ 2.某产品长4mm，宽2mm，请问它的等效直径是多少？ 3.某产品通光面为10mm×10mm，有效孔径80％，请问有效孔径面积是多少？ 4.某产品通光面为5mm×5mm，有效孔径80％，有效孔径内要求光洁度10/5，有效孔径外要求光洁度40/20，请问有效孔径内和有效孔径外判定的等效直径分别是多少？ 5.某产品通光面为3mm×3mm，请问用何种设备进行光洁度检测？ 练习一解答 答： 1. 3:0.5＝6:1 大于4:1 为划痕 2. 4:2＝2:1 小于5:1 等效直径＝（4＋2） ÷2 ＝3mm 3. 有效孔径＝（10×0.8）× （10×0.8）＝8mm×8mm 4. 有效孔径内等效直径＝（5×0.8）× （5×0.8）＝4mm×4mm 有效孔径外等效直径＝5mm×5mm 5. 等效直径＝（3+3） ÷2 ＝3mm Φ2mm