第9章谐振式传感器剖析.ppt

第9章 谐振式传感器 谐振式传感器是直接将被测量的变化转换为物体谐振频率变化的装置，也称频率式传感器。 优点：①精度高、分辨力高；②稳定性高、可靠性高、抗干扰能力强；③适于长距离传输且功耗低；④能直接与数字设备相连接；⑤无活动部件，机械结构牢固等。 第9章 谐振式传感器 缺点：①要求材料质量较高；②加工工艺复杂、生产周期长、成本较高；③其输出频率与被测量的关系往往是非线性的，须进行线性化处理才能保证良好的精度。 谐振式传感器种类很多，按它们谐振的原理可分为：机械的、电的和原子的三类。常用电子振荡器有RC振荡电路和石英晶体振荡电路等。 第9章 谐振式传感器 1.RC振荡器式温度—频率传感器 如图所示，它利用热敏电阻RT测量温度。RT作为RC振荡器的一部分，振荡频率与RT有关。该电路是由运算放大器和反馈网络构成的一种RC文氏电桥正弦波发生器。 第9章 谐振式传感器 第9章 谐振式传感器 MOS环振式数字加速度传感器利用了MOS管的力敏效应。如图所示，在应力作用下，由于硅的压阻效应，MOS管源、漏极之间的沟道电阻将发生变化，从而改变反相器的延迟时间。 第9章 谐振式传感器 如图所示，当质量块在加速度作用下使硅梁发生弯曲变形时，在硅梁的根部产生应力S，从而使MOS管的特性发生改变。 第9章