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用基于模具的测试验证微结构的表面特性 Wito Hartmann and Albert Weckenmann Chair Quality Management and Manufacturing Metrology, University Erlangen-Nuremberg, Naegelsbachstr. 摘要：微型和纳米技术可以提高新产品的功能，例如改进光吸收，自清洁还有保护，这些功能是要建立在对功能纳米结构的大小和对材料的特性的要求的基础上。由于需要可靠地测量越来越小的几何特征，对坐标和表面测量仪器进行了改进，并且现在对高分辨率的形貌和结构的测量已经到了亚纳米的范围。然而，在许多情况下由于传统概念上的尺寸和公差完全几何化、表面参数规范化都是不充分考虑与几何参数的交互作用，对工件或其形貌功能的能力不可能做出一个明确的声明，这会对功能产生主导作用，例如滑动，润湿，密封和光反射。 为了验证微结构表面功能的能力，一种方法是对基于参数化的数学物理模型的功能开发。从这个模型中，通过不同的制造和验证过程，与功能相关的属性可以被识别、几何参数可以被推导。在这种方法中应用理论和实验知识，以及建模与仿真可以优化工件形状关于预定功能的定义。这种方法的优点，将通过着墨辊微结构的例子来讨论和证明。 关键词：功能化 表面测量 虚拟功能表 功能模型 1. 简介 微型和