半导体物理基础 半导体物理基础 教材: 半导体物理 季振国 浙江大学出版社 参考书: 《半导体物理学》(第八版),刘恩科著,电子工业出版社 《半导体物理学基础教程》,冯文修等著,国防工业出版社 半导体物理基础 课程考核办法 : 本课采用开卷笔试的考核办法。 总评成绩构成比例为:平时成绩20%; 课外阅读·10%;期末考试70% 半导体物理基础 半导体中的电子状态 半导体中杂质和缺陷能级 半导体中载流子的统计分布 半导体的导电性 非平衡载流子 pn结 半导体物理基础 半导体中的电子状态 半导体中杂质和缺陷能级 半导体中载流子的统计分布 半导体的导电性 非平衡载流子 pn结 金属和半导体的接触 半导体表面与MIS结构 半导体的纯度和结构 纯度 极高,杂质1013cm-3 结构 晶体结构 单胞 对于任何给定的晶体,可以用来形成其晶体结构的最小单元 晶体结构 三维立方单胞 简立方、 体心立方、 面立方 练习 原子的能级 电子壳层 不同支壳层电子 1s;2s,2p;3s,2p,3d;… 共有化运动 Si原子的能级 电子的能级是量子化的 半导体、绝缘体和导体 半导体的能带 练习 物理与电子工程学院 * 固态电子学分支之一 微电子学 光电子学 研究在固体(主要是半导体〕材料上构成的微小型化器件、电路、及系统的电子学分支学科 微电子学简介: 半导体物理基础 微电子学研究领域 半导体器件物理 集成电路工艺 集成电路设计和测试 微电子学发展的特点 向高集成度、低功耗、高性能高可靠性电路方向发展 与其它学科互相渗透,形成新的学科领域: 光电集成、MEMS、生物芯片 半导体物理基础 固体材料分成:超导体、导体、半导体、绝缘体 什么是半导体? 半导体及其基本特性 注:(a)单胞无需是唯一的 ( b)单胞无需是基本的 金刚石晶体结构 金刚石结构 原子结合形式:共价键 形成的晶体结构: 构成一个正四面体,具有 金 刚 石 晶 体 结 构 半 导 体 有: 元 素 半 导 体 如Si、Ge 金刚石晶体结构 半 导 体 有: 化 合 物 半 导 体 如GaAs、InP、ZnS 闪锌矿晶体结构 金刚石型 闪锌矿型 1、单胞是基本的、不唯一的单元。( ) 2、按半导体结构来分,应用最为广泛的是( )。 3、写出三种立方单胞的名称,并分别计算单胞中所含的原子数。 4、计算金刚石型单胞中的原子数。 +14 n=3 四个电子 n=2 8个电子 n=1 2个电子 Si H 原子的能级的分裂 孤立原子的能级 4个原子能级的分裂 原子的能级的分裂 原子能级分裂为能带 Si的能带 (价带、导带和带隙〕 价带:0K条件下被电子填充的能量的能带 导带:0K条件下未被电子填充的能量的能带 带隙:导带底与价带顶之间的能量差 半导体的能带结构 导 带 价 带 Eg 自由电子的运动 微观粒子具有波粒二象性 半导体中电子的运动 薛定谔方程及其解的形式 布洛赫波函数 固体材料分成:超导体、导体、半导体、绝缘体 固体材料的能带图 本征激发 1、什么是共有化运动? 2、画出Si原子结构图(画出s态和p态并注明该能级层上的电子数) 3、电子所处能级越低越稳定。 ( ) 4、无论是自由电子还是晶体材料中的电子,他们在某处出现的几率是恒定不变的。 ( ) 5、分别叙述半导体与金属和绝缘体在导电过程中的差别。 半导体中E(K)与K的关系 在导带底部,波数 ,附近 值很小,将 在 附近泰勒展开 半导体中E(K)与K的关系 令 代入上式得 * * * *
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