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传感器与检测技术实验指导书 陈树越，吴志敏，杨小英 编 信息科学与工程学院 2013年5月 目 录 实验一 金属箔式应变片——半桥、全桥性能实验 2 实验二 压阻式压力传感器的压力测量实验 6 实验三 热电偶、热电阻特性测试 9 实验四 电涡流传感器特性实验 13 实验一 金属箔式应变片——半桥、全桥性能实验 一、实验目的： 1、了解金属箔式应变片的应变效应。 2、掌握单臂电桥、半桥和全桥的工作原理及线路连接方法。 3、了解单臂电桥、半桥和全桥的不同性能，区分其优缺点。 二、基本原理： 1、电阻丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值发生变化，这就是电阻应变效应，描述电阻应变效应的关系式为： 式中为电阻丝电阻的相对变化，为应变灵敏系数，为电阻丝长度相对变化。金属箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件，通过它转换被测部位的受力状态变化，电桥的作用是完成电阻到电压的比例变化，电桥的输出电压反映了相应的受力状态。 2、单臂电桥：输出电压O1。 3、半桥：不同受力方向的两片应变片接入电桥作为邻边，电桥输出灵敏度提高，非线性得到改善。当两片应变片阻值和应变量相同时，其桥路输出电压Uo2=。 4、全桥：全桥测量电路中，将受力性质相同的两应变片接入电桥对边，不同的接入邻边，当应变片初始阻值：R1= R2= R3= R4，其变化值ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4时，其桥路输出电压Uo3=。其输出灵敏度比半桥又提高了一倍，非线性误差和温度误差均得到改善。（以防重复，单臂电桥为选做内容，实验方法自己设计。） 三、需用器件与单元：应变式传感器实验模块、应变式传感器、砝码、数显表、±15V电源、±4V电源、万用表（自备）。 四、实验步骤： （一）、半桥实验（差动电桥） 1、图1-1应变式传感器已装于应变传感器模块上。可用万用表进行测量判别，R1= R2= R3= R4=350Ω左右。 2、差动放大器调零：接入模块电源±15V、接地（从主控箱引入），将差动放大器的正、负输入端与地短接，输出端Vo2与主控箱面板上的数显表电压输入端Vi相连，检查无误后，合上主控箱电源开关，将实验模块调节增益电位器Rw3调节大致到中间位置，再进行差动放大器调零，方法为调节实验模块上调零电位器Rw4，使数显表显示为零（数显表的切换开关打到2V档）。关闭主控箱电源。（实验过程中Rw3, Rw4保持不变） 3、电桥调零：R1、R2为实验模块左上方的应变片，注意R2应和R1受力状态相反，即将传感器中两片受力相反（一片受拉、一片受压）的电阻应变片作为电桥的相邻边。将应变片R1、R2接入下方的电桥当中，接入桥路电源±4V，检查接线无误后，合上主控箱电源开关，调节电桥调零电位器Rw1进行桥路调零。 4、在电子秤上放置一只砝码（20g），读取数显表数值，依次增加砝码和读取相应的数显表值，直到200g砝码加完。记下实验结果填入表1-1，关闭电源。若实验时无数值显示说明R2与R1为相同受力状态应变片，应更换另一个应变片。 表1-1 半桥输出电压与加负载重量值 重量（g） 电压（mv） 5、根据表1-1画出输出电压与所加砝码重量的关系曲线，观察曲线趋势，得出结论。 6、根据表1-1计算系统灵敏度S，S=（输出电压变化量；重量变化量）。 （二）全桥实验 1、接着上面的半桥实验，电桥调零：将应变片R1、R2、R3、R4接入下方的电桥当中，检查接线无误后，合上主控箱电源开关，调节电桥调零电位器Rw1进行桥路调零。 2、根据图1-3接线，实验方法与实验一相同。将实验结果填入表1-2；进行灵敏度计算。 表1-2全桥输出电压与加负载重量值 重量（g） 电压（mv） 3、根据表1-2画出输出电压与所加砝码重量的关系曲线，观察曲线趋势，得出结论。 4、根据表1-2计算系统灵敏度S，S=（输出电压变化量；重量变化量）。 五、思考题： 1、单臂电桥时，作为桥臂电阻应变片应选用：（1）正（受拉）应变片（2）负（受压）应变片（3）正、负应变片均可。 2、半桥测量时两片不同受力状态的电阻应变片接入电桥时，应放在：（1）对边（2）邻边。 3、比较半桥、全桥输出时的灵敏度，得出结论并阐述理由（放大器增益必须相同）。 实验二 压阻式压力传感器的压力测量实验 一、实验目的： 1、了解扩散硅压阻式压力传感器测量压力的原理和方法。 二、实验仪器设备： 1、YL系列传感器与测控技术综合实验台 2、压阻式压力传感器 三、基本原理： 1、扩散硅压阻式压力传感器在单晶硅的基片上扩散出P型或N型电阻条。在压力作用下根据半导体的压阻效应，基