材料分析检测技术工程.docVIP

第二篇 电 子 显 微 分 析 电子显微分析是基于电子束（波）与材料的相互作用而建立的各种材料现代分析方法。电子显微分析方法以材料微观形貌、结构与成分分析为基本目的。从分析原理（技术基础）来看，各种电子显微分析方法中的一些方法也可归于光谱分析（如电子探针）、能谱分析（如电子激发俄歇能谱）和衍射分析（如电子衍射）等方法范畴。电子显微分析主要介绍透射电子显微分析、扫描电子显微分析及电子探针分析这些基本的、得到广泛应用的分析方法。 第七章 透射电子显微分析 电子光学基础 1.电子波有何特征？与可见光有何异同？ 答：电子波具有粒子性和波动性波粒二象性，电子显微镜中常用的加速电压为100—200kv，电子波长为0.00370—0.00251nm，大约是可见光（390~760nm）的十万分之一。 3.电磁透镜的像差是怎样产生的，如何来消除和减少像差？ 答：1像差分为两类：几何像差和色差。 ?几何像差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的。几何主要指球差和像散。 ?色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 2第一，采取稳定加速电压的方法可有效地减小色差。第二，单一能量或波长的电子束照射样品物质时，将与样品原子的核外电子发生非弹性散射。一般来说，样品越厚，电子能量损失或波长变化幅度越大，色差散焦斑越大，透镜像分辩率越差。所以应尽可能减小样品厚度，以利于提高透镜像的分辩