测试与技术复习浅析.ppt

电子探针 电子探针的信号检测系统是X射线谱仪， 检测X射线波 长的谱仪称波谱仪(WDS)，检测X射线能量的谱仪称能 谱仪(EDS) 波谱仪聚焦方法有半聚焦法和全聚焦法两种 第十五章要点 《材料测试与分析技术》 能谱仪 优点（与波谱仪相比） 1) 能谱仪探测X射线的效率高。其灵敏度比波谱仪高 约一个数量级。2) 在同一时间对分析点内所有元素X射线光子的能量进行测定和计数，在几分钟内可得到定性分析结果，而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。 3) 结构简单，稳定性和重现性都很好（因为无机械传动） 4) 不必聚焦，对样品表面无特殊要求，适于粗糙表面分析。 第十五章要点 《材料测试与分析技术》 能谱仪 缺点： 1) 分辨率低：Si(Li)检测器分辨率约为160eV；波谱仪分辨率为5－10eV 2) 能谱仪中因Si(Li)检测器的铍窗口限制了超轻元素的测量，因此它只能分析原子序数大于11的元素；而波谱仪可测定原子序数从4到92间的所有元素。 3) 能谱仪的Si(Li)探头必须保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。 点、线、面分析 点分析：是对试样某一选定点（区域）进行定性成分分析，以确定该点区域内存在的元素。 线分析：是使聚焦电子束在试样观察区内沿一选定直线（穿越粒子或界面）进行慢扫描，X射线谱仪处于探测某一元素特征X射线状态。 面分析：是用聚焦电子束在试样上作二维光栅扫