91 年度期末考试题.docVIP

半導體製程安全期末考試卷 卷號：________________學號________________________ 姓名 ____________________ 請自右邊選擇能代表左邊意義的專有名詞或簡稱（答錯不倒扣）：每題 2 分，共 30 分 1. ( ) 場效二極體 (1). CMP (16). Chip 2. ( ) 晶圓 (2) Silane (17) Wafer 3. ( ) 矽烷 (3) Mounting (18) Anneal 4. ( ) 磊晶 (4) CFC (19) HEPA 5. ( ) 化學蒸氣沉積 (5) FET (20) Ingot 6. ( ) 濺鍍 (6) SMIF (21) Evaporation 7. ( ) 植離子 (7) IPA (22) LPCVD 8. ( ) 高效率濾材 (8) TCE (23) ULPA 9. ( ) 異丙醇 (9) HPM (24) Epitaxial 10. ( ) 標準機械介面 (10) CVD (25) ULSI 11. ( ) 化學機械研磨 (11) Dicing (26) CCD 12. ( ) 過氟碳 (12