PE 工艺作业导书.docxVIP

PE 作业指导书 编制人/日期： 审核人/日期： 批准人/日期： PAGE6 / 14 1 目的 为了确保PE车间安全生产和员工规范操作，提高生产效率，特制定本标准。 2 范围 本规范规定了 PE 车间员工标准操作及注意事项，适用于PE车间全体操作人员。 3 相关文件 《清洗不净异常处理流程》 《18#片异常处理流程》 4 定义 无 5 职责 PE车间全体操作人员对此项工作负责。 6 环境 PE车间重点监控点洁净度要求如下： 装片工作区（包括湿法刻蚀上下料工作区）和管P装片和卸片工作区洁净度要求100，000级以下（即≥0.5μm的尘粒最大允许数/立方米小于3，500，000个）。 7 职业健康安全 无 8 管理内容 8.1 捷佳创管式PECVD生产操作规范 8.1.1 基本操作流程  进舟（选工艺曲线，并记录机号、舟号和时间）取一组清洗干净的硅片和一篮补片按要求每舟装 进舟（选工艺曲线，并记录机号、舟号和时间） 取一组清洗干净的硅片和一篮补片 按要求每舟装252片正常片 记录出片数，送到指定的印刷线将252 记录出片数，送到指定的印刷线 将252片正常片卸到相应的印刷篮里 测量膜厚、折射率 PECVD生产作业流程 8.1.2 规范操作步骤 8.1.2