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第3章 电容式传感器 3.1 电容式传感器的工作原理 1. 基本工作原理 平行板电容器 --真空的介电常数； ； --电容极板间介质的介电常数； -- 介质的相对介电常数，对于空气， 单位：1法拉（F）=106微法（μF）=1012皮法（PF）或微微法（μμF） 2. 变面积型电容式传感器 灵敏度： （与a的大小无关） 问题：极板间距能否很小？不能 3. 变介质介电常数型电容式传感器 （1）电容式液面计（液位传感器） h1— 待测液面高度 结论：传感器的电容量C与液位高度h成正比。 （2）测湿（测厚）传感器 结论：①若d不变，，为介电常数ε的测试传感器，如湿度传感器（粮食、纺织品，木材等）； ②若不变，，可用来测量纸张、绝缘薄膜等厚度的测厚传感器。 4. 变极板间距型电容式传感器 初始电容： 假若动极板上移 若，上式可按级数展开 电容增量为 电容量的相对变化 同理：若动极板下移 略去高次项 （近似线性关系） 灵敏度为 非线性误差为 结论： ①欲提高灵敏度，应减少起始间隙δ，但受电容器击穿电压的限制； ②为了保证一定的线性度，即减小非线性误差，应限制动极板的相对位量。 ③为了改善非线性，应采用差动式结构。 5．差动式电容传感器 假若动极板上移： 忽略高次项，则 灵敏度为 非线性误差为 结论：差动式电容传感器比单一电容传感器灵敏度提高一倍，而且非线性误差大大降低。 3.2 电容式传感器的等效电路 1. 等效电路 Rp—并联损耗电阻 包括了电极间直流漏电阻和气隙中介质损耗； Rs—串联损耗电阻 包括引线电阻、金属接线柱电阻和电容极板电阻； L—表示传感器各连线端间总电感。 因为Rp很大， 等效电容： 为电路谐振频率，应选择电源频率。 2. 高阻抗、小功率 由于电容式传感器的几何尺寸较小，一般电容量C很小，容抗很大，视在功率（）很小。 3.3 电容式传感器的测量电路 电桥测量线路 （1）交流不平衡电桥 变压器桥路框图如图所示 Zf为放大器的输入阻抗 （2）交流平衡电桥 以飞机上一种电容式油量表为例（自动平衡电桥电路） 已知：油箱中无油时，起始电容，电刷位于a点，即R=0，E=0，此时电桥平衡，电桥输出电压为0，电机不转动，，仪表指针指在零位上。 初始电桥平衡条件： 当油量液位升高h， 电桥平衡被破坏，电桥产生输出电压，电机转动，带动电刷、仪表指针移动，使电桥重新恢复平衡，此时，电刷、仪表指针停止移动。 已知： 所以： 差动脉冲宽度调制电路 研究输出方波脉冲宽度与C1和C2的关系 工作原理： 设电源接通时，（高电平），（低电平）A点经过R1对C1 充电，至，A1产生一脉冲，使触发器翻转，，，此时，M点通过D1迅速放电至0；同时，B点经过R2对 C2 充电，至，A2产 生一脉冲，使触发器翻转， ， （1）若 则： A、B点的平均输出电压： （2）若，， A、B点的平均输出电压： 同理： 3.4 电容式传感器应用举例（P51） 运算型电容测厚传感器 频率变换型电容测厚传感器 电容传感器在真空注油机自动控制中的作用 电容式压力传感器 高分子电容式湿度传感器 感测技术讲义 - 28 - UA U1 UB U1 S C2 C1 S UA U1 UB U1 UM UN UF UF t t t t t 0 0 0 0 0 T1 T2 上移 下移 UM UN UF UF