微机电系统设计与制造建模关键技术及系列产品 .docVIP

项目名称：微机电系统设计与制造：建模、关键技术及系列产品开发与应用 项目完成人：黄庆安，周再发，聂 萌，秦 明，李伟华，黄见秋，王 磊，唐洁影，徐 波，，董自强，许高斌，刘海韵，余辉洋，张宇星东南大学，江苏英特神斯科技有限公司，无锡华润上华半导体有限公司，无锡市杰德感知科技有限公司国家科学技术进步奖（直报）项目简介微机电系统（MEMS）是事关国家长远发展和国家安全的前沿性、战略性技术，被列入《国家中长期科技发展规划纲要》（2006-2020）。鉴于我国MEMS产业化与发达国家存在较大的差距，本项目在国家自然科学基金、国家863计划等项目持续支持下，深入、细致、系统地开展了关键技术的研究与开发，解决了MEMS设计与制造全技术链瓶颈问题，研发并生产出系列产品，推动了我国MEMS产业化发展。 取得创新成果如下： 1. MEMS制造工艺模型与模拟技术：提出了硅高密勒指数晶面元胞的分类方法，建立了表面元胞与硅晶面腐蚀速率之间的关系，提高了硅各向异性腐蚀模拟精度；建立了厚胶斜入射光刻模型，首次实现了其工艺模拟；建立了动态三维元胞自动机模型，创造性地提出了时间补偿方法，突破了工艺模拟速度慢的技术瓶颈。 2. MEMS系统级建模与模拟技术：利用反馈网络思想，发明了多场耦合MEMS等效电路建模方法，突破了力、热、电耦合MEMS的系统级建模技术瓶颈，实现了该类器件稳态、时域和频域的模拟分析。