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有機電子檢測技術專輯前言 莊凱評 有機發光顯示器的應用市場在2010年時由三星電子推出搭載 AMOLED（Active-Matrix Organic Light-Emitting Diode）面板之 Galaxy 手機後開始邁入高成長，由 Samsung Display 公司所生產的 Super AMOLED 面板至今仍供不應求，主要客戶除了自家三星電子外亦包括了HTC、摩拖羅拉、Nokia 和華為等。因為三星電子在 AMOLED 智慧型手機上的成功經驗，近幾年來國內外各大面板廠商無不加速研發 AMOLED 技術，期望 AMOLED 技術成為繼 TFT LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display）顯示技術後另一未來的成長動能。根據 AMOLED 面板技術可分類為 RGB Pixelization Method，主要廠商代表包括 Samsung Display 及 AUO 等，另外則是 White to RGBW Method，主要廠商代表則包括 LG 及 Chimei-Innolux 等目前市售 AMOLED 手機面板主要採用 RGB Pixelization Method 面板技術，而 White to RGBW Method 面板技術則較有機會在中大尺寸顯示器上實現高良率量產，圖一為 AMOLED 前段製程流程圖，目前量產的小尺寸AMOLED面板主要以LTPS（Low Temperature Poly-Silicon）製程技術製作 TFT 背板，首先在玻璃基板上製鍍非晶矽薄膜層（Amorphous Silicon），再經過準分子雷射退火 Excimer-Laser AnnealingELA 製程使非晶矽薄膜層成為多晶矽（Poly-Silicon）結構，利用此多晶矽背板技術可使 TFT 具有高載子移動率（High Mobility）。經過 TFT 製程後進入有機發光層鍍膜，此製程目前有兩大主流架構方法，其一為利用Fine Metal Mask透過真空有機熱蒸鍍產生 RBG 的像素結構（RGB Pixelization Method），另一為無需金屬遮罩直接製鍍整面白光有機發光體，並配合 RGB 的彩色濾光片像素陣列（White to RGBW Method）達到陣列化之像素排列。以目前市售產品進行分析，只有Samsung Display 能夠進行商品化量產並在2012年中小尺寸面板市佔率達 97 %，近幾年來台灣廠商努力的研發追趕，無法順利量產最大瓶頸仍在生產良率太低，主要關鍵材料及設備技術能力材料的取得到製程處理，或是生產設備的量產品質及良率控制，都需要具備有效率、精準及高穩定性的檢測設備來監控與分析改善。 圖一 AMOLED面板製程流程圖 陸續拜訪國內幾家 AMOLED 製造廠商，並整理出目前廠商所急需之關鍵檢測設備需求，包括了生產製程中所需的檢測設備，以及協助廠商在產品研發與完成成品後的量測分析設備。如在 AMOLED LTPS 背板製程所需的檢測設備，LTPS 背板在早期 TFT LCD 時即被使用，對 Poly-Silicon 的均勻性要求不高，然而在 AMOLED 應用時均勻性的要求非常重要LTPS背板製程良率不佳主因利用雷射使Amorphous-Silicon 結晶化時能量分布不均勻目前實驗室主要以SEM 做為離線局部檢測，因而無法滿足全檢的需求，且目前市售的光學影像檢測設備並無法檢查出此不均勻的現象，因此，本專輯中發表了由量測中心所研發之橢偏影像光學量測技術以克服傳統光學影像無法檢測之問題。此外，Poly-Silicon TFT元件相較於 Amorphous-Silicon TFT 小具備較高開口率，因此對於元件上 Particle的尺寸檢出將比 TFT LCD 要求更高，TFT LCD 只需檢出 1微米以上的 Particle 即可，可是在 AMOLED TFT 上至少必須檢測出高度大於 0.1微米的Particle。若要檢測高度0.1微米的 Particle，雖然有很多柰米級的三維形貌量測設備可以選擇，但若要進行面板全檢時，現有的量測設備將速度不夠快，以及易受環境動影響準確度而造成設備成本過高等問題。除了上述問題所衍生之量測設備需求外，其它重要的量測需求亦包括有機電子元件光電特性量測、有機薄膜參數（厚度、折射率及吸收係數）量測及OLED 面型色彩量測等。 本專輯AMOLED 產業發展所需的關鍵檢測技術文章，部份技術文章所欲發展之檢測設備具國內廠商不易從國際市場取得，或目前市售設備無法滿足產業需求等設備技術的開發極高的風險，因此，政府的政策與研發投資的支持非常重要，年初政府公告業界科專政策性項目，其中 “新世代顯示器產業推動政策性項目“ 含括了主動式有機發