本成果在实验室建设中发挥的主要作用.doc

清华大学 学生实验室建设贡献奖申报表 工程物理 系 等离子体科学与聚变 实验室 成果名称：PFEIFFER QualyTest? HLT260 氦质谱检漏仪在球形托卡马克装置及周围实验室的应用 完成日期：自 2005 年至 2006 年 9 月 第一作者：谭熠 性别：男 班级：工物研21班 参加人员（姓名、性别、班级） 指导教师（姓名、性别、职称） 张良，男，工物研21 何也熙，男，研究员 曾龙，男，工物研21 刘飞，男，工物研21 填表说明： 一项成果只能申报一次，若已受到校内其它奖励，不要再申报此奖。 由于评审工作的需要，请用A4纸分别写明下列内容： 本成果的简要技术说明（1000字以内）。 本成果在实验室建设中发挥的主要作用（500字以内）。 第一作者的工作体会和建议（500字以内）。 2006 年 10 月 27 日填 评 审 意 见 表 实验室推荐意见 实验室主任签字： 系评审组意见 负责人签字： （加盖公章） 主管部门意见 负责人签字： （加盖公章） 本成果的简要技术说明 高真空、超高真空是等离子体科学、材料科学、大规模集成电路等学科实验的基础。对器件进行检漏是获得高真空、超高真空的必要的过程和手段。 利用大气和通常实验环境中氦气含量极低（体积分数~5.2ppm）且基本恒定这一条件，Pfeiffer QualyTest? HLT260 氦质谱检漏仪将其作为探测气体用于漏率检测。该检漏仪结构简图如图1所示： 图1 Pfeiffer QualyTest? HLT260 氦质谱检漏仪结构简图 HLT260检漏仪有抽真空和嗅探两种检漏方式。 在抽真空方式下，待检漏的器件通过测试端口与检漏仪相连，待测器件被检漏仪内部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待测器件容积较大，则需额外的泵组一起协同作业以提高效率）。只需测量待测器件外部大气通过器壁的漏孔进入器件内部的氦的多少便可以判断漏率的大小。如果需要得到精确的漏率数值，则必须等待整个测量系统的真空达到稳态，并预先根据环境中氦的含量对检漏仪进行标定。若需在抽真空方式下准确地找到漏孔的位置，可以通过对可疑位置喷氦并检验漏率是否有明显的上升来完成。 与抽真空方式相反，嗅探方式是通过测量待测器件内部气体经由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少来获得漏率的大小的。预先向期间内充入一定氦气，封闭测试端口，将嗅探探头连接至检漏仪，用嗅探探头对待测器件表面的可疑部位进行扫描。如果发现漏率明显的上升，便可判断漏孔的位置。这种方式适合在待测器件内部无法或者不能抽真空的情形下检漏。但是，由于嗅探方式是通过检测器壁外的大气来进行测量的，大气中的氦会带来一个较高的漏率本底。这个本底虽可通过置零来扣除，但仍会降低嗅探方式的灵敏度（嗅探方式最小可检测漏率为5×10-8 mbar l/s，而抽真空方式为5×10-12 mbar l/s）。 两种方式下，最大的可检测漏率均为1 mbar l/s。从5×10-12 mbar l/s到1 mbar l/s，如此大的可检测范围是通过逆向流（Counter Flow）、双流（Twin-Flow）等技术得到的。 开始检漏后，阀门V2打开，粗抽泵对待测器件或者嗅探探头进行初步的抽真空。当真空规管P2测得粗抽泵已将真空抽至气压小于15 mbar后，阀门V1打开，由于分子泵A和B的压缩能力与气体分子的质量相关，较轻的氦可以部分地逆着分子泵气流的方向到达氦传感器，而重的气体被阻挡在外，这就是逆向流技术。这时候虽然真空度并不高，但通过逆向流技术，对气流进行采样，也能够对非常高的漏率进行测量。 双流技术分两个阶段。当P2气压低于5 mbar时，阀门V2关闭，V1和V3打开，分子泵B与粗抽泵级联，待测器件或者探头被抽至高真空。此时，只有分子泵A工作于逆向流方式，但由于真空度已经较高（意味着较低的漏率），到达氦传感器的氦仍然能够得到有效的控制以确保不超出氦传感器的测量范围。这便是Twin-Flow? low。当P2气压低于0.5 mbar时，阀门V3关闭，V4打开，分子泵A和B均与粗抽泵级联，待测器件或探头被抽至更高的真空（漏率更低），此时，不再使用逆向流对气体进行采样，而直接利用氦传感器对漏率进行测量，以达到极