集成电路制造工原理.docVIP

《集成电路制造工艺原理》 课程教学 教 案 山东大学信息科学与工程学院 电子科学与技术教研室(微电) 张 新 课程总体介绍： 课程性质及开课时间：本课程为电子科学与技术专业（微电子技术方向和光电子技术方向）的专业选修课。本课程是半导体集成电路、晶体管原理与设计和光集成电路等课程的前修课程。本课程开课时间暂定在第五学期。 参考教材：《半导体器件工艺原理》 国防工业出版社 华中工学院、西北电讯工程学院合编 《半导体器件工艺原理》（上、下册） 国防工业出版社 成都电讯工程学院编著 《半导体器件工艺原理》上海科技出版社 《半导体器件制造工艺》上海科技出版社 《集成电路制造技术-原理与实践》 电子工业出版社 《超大规模集成电路技术基础》 电子工业出版社 《超大规模集成电路工