光mems器件李振分解.ppt

无源光MEMS器件应用 李振Passive optical device application 典型元件 反射镜 衍射光闸 光传输线 主要应用 匹配WDM系统的微光纤器件 微型的医疗器具（光纤内窥镜） 图像投射显示 光MEMS通信器件 可变光衰减器(VOA) 静电力可调型倾斜镜 SOI智能材料加工（DIRE深反应离子刻蚀） 光MEMS通信器件 可变光衰减器(VOA) 直径：6mm 厚度：30um 单晶硅抗扭梁：1.5um宽 150um长 工作电压：5V 将信号调节为40dB或更高 抗静电和温度干扰 机械稳定性 光MEMS通信器件 可变光衰减器(VOA) 实现光网络的关键性器件 广泛应用在光纤网络系统中 光MEMS医疗器件 光纤内窥镜 单模光纤传输信号（静电处理） 光伏电池 全光路内窥镜 光MEMS医疗器件 光纤内窥镜 避免降低了漏电现象的危险 避免了电磁干扰 光MEMS医疗器件 OCT系统（光学相干层析成像） 直线扫描组织图像 组织横断图像重组 手指皮肤2D横断面图(1mm) 光MEMS医疗器件 手指皮肤2D横断面图(1mm) 光学相干层析成像是一种新的三维层析成像技术。OCT基于低相干干涉原理获得深度方向的层析能力，通过扫描可以重构出生物组织或材料内部结构的二维或三维图像，其信号对比度源于生物组织或材料内部光学反射（散射）特性的空间变化。 光学