由於STM是利用穿隧电流作为测量的讯号，因此探针与样品必须能导电.docVIP

奈米世界的全方位性工具 果尚志 國立清華大學物理系 e-mail: gwo@phys.nthu.edu.tw 最近，奈米尺度（nanometer，1 nm=10-9 m）科學及技術之發展已成為世界各科技高度發展國家全力以赴的目標，我國在近年內亦在國科會及教育部之支持下有多項相關研究計畫正在進行中。其中，奈米材料和奈米人造結構之研究，由於在高科技應用上有廣闊的應用前景，更是奈米科技的重點發展項目之一。因為奈米材料及奈米結構的表面部份佔了整體極大的比例，其表面特性是決定奈米材料及結構的特殊物理、化學、機械和電子性質之重要因素，所以表面顯微技術在奈米科技發展中佔有極重要的地位。此外，目前奈米科技的迫切需要是發展能在此尺度下操縱原分子或奈米粒子和進行材料之奈米加工(例如蝕刻和誘導沈積等)和局部化學修飾的方法。掃描探針顯微儀正是符合這些需求的全方位性工具。 表面科學在最近20年內的重大進展是於1980年代早期由IBM公司在瑞士Zurich的實驗室所發展出的掃描穿隧顯微儀(Scanning Tunneling Microscope，STM)[1、2，請見圖1]。其發明人G. Binnig與H. Rohrer兩位並與掃描電子顯微儀( (Scanning Electron Microscope，SEM)的發明人E. Ruska共同獲得1986的諾貝爾獎。掃描穿隧顯微儀的主要物理原理是利用