电子束蒸镀氧化锆於Ti.docVIP

電子束蒸鍍氧化鋯於Ti-6Al-4V表面介面性質研究 The study on zirconia interfacial layer properties on Ti-6Al-4V surfaces coated by e-beam evaporation technique 研究生：王瀧諺 Wang, Long-yan 指導教授：洪廷甫 Honng, Ting-Fu 【摘要】 本研究之目的在於探討經過600號、2500號以及4000號砂紙研磨之Ti-6Al-4V試片表面分冸被覆不同厚度氧化鋯薄膜，再經600℃熱處理與無熱處理條件下，鈦合金表面生物活惰性能力之差異。本實驗採用電子束蒸鍍法將氧化鋯被覆於Ti-6Al-4V試片表面經檢測溶液為去離子水與人工模擬體液進行生物活惰性之測試，氧化鋯薄膜厚度分冸為0.25μm、0.5μm及1.0μm。試件表面之結晶相結構、表面形貌、化學成分、粗糙度、濕潤性及機械性質分冸以XRD、SEM、EDX、AFM、接觸角量測儀以及奈米壓痕試驗機分析。 實驗結果顯示，經過600號、2500號以及4000號砂紙研磨之Ti-6Al-4V試片表面被覆於氧化鋯薄膜，無論是否有經過退火處理，其接觸角皆高於未被覆氧化鋯薄膜之Ti-6Al-4V試片。其中，隨著氧化鋯薄膜厚度增加，其接觸角值會隨之提升；另一方面，相同膜厚之氧化鋯薄膜，在經由退火熱處理後其接觸角