洁净室知识(クリーンルーム関连)汇编.docVIP

　クリーンルームとは、「空気中のが限定されたレベル以下に管理され、必要に応じて温度?湿度等を一定の基準に制御する部屋」です。そのためには、以下のような設備が不可欠です。 必要な清浄度を維持する基準以上の循環風量と塵埃を取るHEPAフィルター(高效空气过滤器等)の高性能フィルター。 塵埃が外から侵入しないように、クリーンルーム内をにするOA供給設備、及び陽圧ダンパー。 塵埃の発生?付着やを抑える室構造として、壁?天井には断熱パネルやクリーンクロス張り、床はR材を付けた塩ビシートやエポシキ系塗床等な構造物。 人やワークからの塵埃を持ち込まないための、エアーシャワー?パスボックス（传送盒）等の設備。 必要に応じた制御精度をコントロールできる精密もしくは一般温湿度制御用空調設備。 清浄度とは 《粒子径分布線》 　クリーンルームの清浄度は「一定の体積中の基準の大きさ以上の塵埃の数 量」で示されます。規格の原本は1963年のアメリカ連邦規格Federal Standard209です。現在では1993年に改定されたFed.Std209Eが最新版となっています。一般的に最も使われているものは209Ｄです。これは１フィート立方中（28.8リットル）に0.5ミクロン以上のがあるかで表します。　209Ｄのクラス100とは１フィート立方中に0.5ミクロン以上の微粒子が100個以下であることです。1,