材料现代分析方法 材料化工学院 第八章 透射电子显微镜 §1 透射电镜的整体构造及工作原理 §2 透射电镜的主要部件及工作原理 §1 透射电子显微镜工作原理及构造 由三部分组成: 电子光学系统(镜筒)-核心 电源与控制系统 真空系统 光学显微镜: 可见光作照明束; 玻璃透镜; 像分辨. 光学显微镜与透射电镜的比较 §1 透射电子显微镜工作原理及构造 一、构造 由照明、成像、记录、真空与电器系统组成。 1.电磁透镜 通过调节激磁电流,方便地调节磁场强度,从而调节焦距和放大倍数. §8.1 透射电子显微镜工作原理及构造 1)电 子 枪-透射电子显微镜的电子源 灯丝 2) 聚光镜 聚光镜-会聚电子枪射出的电子束,以最小的损失照明样品,调节照明强度、孔径角和束斑大小。一般都采用双聚光镜系统。 第一聚光镜-强激磁透镜,束斑缩小率为10~50倍左右,将电子枪第一交叉点束斑缩小为1~5μm; 第二聚光镜-弱激磁透镜,适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2~10μm的照明电子束斑。 3.成像系统 透射电镜入射电子束有两种主要形式: 平行束和会聚束 前者用于成像及衍射, 后者用于成像、微分析及微衍射. §8.1 透射电子显微镜工作原理及构造 3.成像系统 由物镜、中间镜和投影镜组成。 将衍射花样或图像投镜到荧
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