光切法在动态表粗糙度检测中的应用.docVIP

光切法在动态表面粗糙度检测中的应用 摘要：应用光切显微镜、CCD摄像机、虚拟仪器和图像处理技术开发了表面粗糙度动态检测系统，利用光切法获得运动表面形貌，再使用图像处理技术提取轮廓特征计算评定参数。通过与触针式仪器进行测量对比实验，论证了检测系统能达到较高的精度。应用检测系统进行了动态检测实验，分析了样本表面的振动和运动速度对检测系统的影响。实验证明，在被测表面的振动幅度小于景深的前提下，该图像检测系统能够应用于动态检测表面粗糙度，适用的速度范围可达到：0~2000rpm（3.14m/s）。 关键词：表面粗糙度；光切法；在线检测 Application of Light-section Method to Roughness Measurement on Dynamic Surface Abstract：A dynamic measurement system of surface roughness was developed which consists of light-section microscope and CCD camera as well as image processing software. The dynamic surface profile can be obtained by light-section method. The evaluation