光学气浮隔微振台技术基本要求.docVIP

ICS17.020 A52 备案号： DB23 黑龙江省地方标准 DB 23/ XXXXX—XXXX 光学气浮隔微振平台技术基本要求 Optical platform with air floating vibration technology basic requirements XXXX - XX - XX发布 XXXX - XX - XX实施 黑龙江省质量技术监督局发布 目次 前言 III 1　范围 1 2　规范性引用文件 1 3　术语和定义 1 4　型式与基本参数 2 4.1　分类 2 4.1.1　控制类型 2 4.1.2　平台结构类型 2 4.2　基本参数 2 4.2.1　供气气源参数 2 4.2.2　供电电源参数 2 5　技术要求 2 5.1　正常工作环境条件要求 3 5.2　外观和结构要求 3 5.3　固有频率 3 5.4　振动传递率 3 5.5　平台表面平面度 3 5.6　承载 3 5.7　平台浮起不感带范围 3 5.8　平台浮起稳定时间 4 6　检验条件 4 7　检验方法 4 7.1　外观质量 4 7.2　外形尺寸 4 7.3　隔振性能指标检验方法 4 7.3.1　固有频率检验 4 7.3.2　振动传递率： 5 7.4　平台浮起不感带 5 7.5　平台表面平面度 5 8　产品出厂检验 5 9　标志、包装和使用说明书 5 9.1　标志和标