河南理工大学万方科技学院现代加工技术A卷答案.doc

河南理工大学万方科技学院2013-2014学年第 1 学期 《现代加工技术》试卷（A卷） 考试方式：开卷 本试卷考试分数占学生总评成绩的 70 % 总 分 题号 一 二 三 四 五 六 七 八 九 十 核分人 得分 复查总分 总复查人 得分 （本题20 分）一、名词术语解释 超精密加工： 超精密加工是获得亚微米以上精度的加工方法，主要指标：加工精度 0.1μm,Ra 0.02μm。主要加工技术有金刚石刀具超精密切削、超精密磨削加工、超精密特种加工和复合加工等。 超高速加工： 超高速加工技术是指采用超硬刀具和磨具，利用能可靠的实现高速运动的高精度，高自动化和高柔性的制造设备，以提高切削速度来达到提高材料切除率、加工精度和加工质量的先进加工技术。 缓进给磨削： 也称作强力磨削、重负荷磨削、蠕动磨削、铣磨等；显著特点是进给速度低：是普通磨削的10-3-10-2倍，但是切深能达到20-30mm，是普通磨削的100-1000倍。 纳米加工： 纳米级加工的含意是达到纳米级精度的加工技术。包括切削加工（精密切削等）、化学腐蚀 电化学等）、能量束加工（电子束、离子束等）、复合加工、扫描隧道显微技术加工等多种方法。 绿色加工： 绿色制造是一个综合考虑环境影响和资源消耗的现代制造模式，其目标是使得产品从设计、制造、包装、运输、使用到报废处理的整个生命周期中，对环境负面影响极小，资源利用率极高，并使企业经济效益和社会效益协调优化。绿色制造实质上是人类社会可持续发展战略在现代制造业中的体现。 生物加工： 定义：利用微生物对工程材料的加工作用，实现预订量的去除或沉积。 分类 生物去除加工：利用生物化学反应去除 生物沉积加工：利用化学沉积方法制备具有一定强度和外形的空心金属化菌体，并以此作构型单体构造微结构； 生物成形加工：生物生长成形加工。 得分 （本题 25 分）二、填空： 1、超精密加工的关键技术有 精密加工机床 、 稳定的加工环境 、 精密测量技术和误差补偿 。 2、高速切削机床中的主轴单元使用 电主轴 ，包括 动力源 、 主轴 、 轴承 、 和 机架 四个部分。 3、ELID磨削技术主要由 电源 、 砂轮 、 电极 、 电解液 四部分 组成。 4、提高高速磨削机床主轴轴承极限转速的措施有 提高轴承制造精度 、 应用特殊材料 、 改进轴承结构 等办法。 5、1931年，德国切削物理学家萨洛蒙提出超高速切削理论，将切削速度分为 三 个区， 分别为： A区（常规加工区） 、 B区（死谷） 、 C区（超高速加工区） 。 6、光刻加工关键技术有 光刻掩膜制作 、 曝光技术 、 刻蚀技术 。 7、LIGA技术的主要工艺过程包括 深层同步X射线光刻 、 电铸成形 、 注塑 三个工艺步骤。 得分 （本题 20 分）三、加工机理简答 试从切削力、切削温度、切屑的变化阐述超高速切削的机理。 切屑研究：连续：高导热性低硬度合金或金属；断续：低导热性，密排六方多晶结构，高硬度材料 切削力降低原因：软化；切削能量达到平衡点；变形速度 临界值； 切削温度降低原因：切削热来不及传递到工件和刀具被切屑带走； 试从切削位移、切削力切削温度变化阐述超声切削机理。 定义：在普通机械加工中引入超声振动形成的复合加工方法。超声振动切削是通过把超声振动引入车、钻、锪、铰、攻丝、切断等加工过程中，给刀具 工件 以适当方向、一定频率和振幅的振动，以加速切削过程和改善切削效能的方法。 机理： 切削位移变化 切削力、温度变化 试叙述激光加工的机理。 定义：它是利用材料在激光聚焦照射下瞬时急剧熔化和气化，形成很强的冲击波，使被熔化的物质爆炸式的喷溅来实现材料去除的加工技术。 物理过程：光能吸收及能量转化——材料无损加热——材料熔化、气化及溅出，作用终止及加工区冷凝 机制： 能量密度1011W/cm2，104℃高温，光能转化热能，局部熔化气化蒸发，形成凹坑； 热扩散使周围金属熔化； 继续吸收光能，凹坑中金属蒸汽膨胀，压力增大，熔融物高速喷射； 产生的反冲击压力形成冲击波，使熔化物质喷射去除。 4、试叙述光刻加工工艺过程。 光刻：也称照相平版印刷：在硅等基体材料上涂覆光致抗蚀剂，用高极限分辨率能量束通过掩膜对光致抗蚀层进行曝光，显影得到所需的图形，然后刻蚀，制造出微型结构； 工艺过程： 原图制作 制造光刻母版 基片预处理 涂覆抗蚀剂 前烘 曝光 显影及检测 坚膜 刻蚀 去胶 得分 （本题 20分）四、问答题 1、超精密切削加工对金刚石刀具的刃磨、使用要求有哪些？ 为了实现超微量切除，金刚石刀具是目前超精密车削加工的主要刀具； 金刚石车削中的一项关键技术是刀具的刃磨质量，包括