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论未来的光机电一体化科学仪器和装置 1 前言　　60年代半导体激光器的问世，和70年代低损耗光纤的开发为转机，光电产品和光机电一体化仪器得到飞速发展。特别是日本。在80年代初就提出。2l世纪将是光技术的世纪。在l98O年成立了日本光产业技术振兴协会（OITDA）。　　1987年1月将光学技术通信杂志改为光技术通信 杂志 9o年代出版光电子学（Optronics）杂志。据统计日本光电产业1981年产值为1 600亿日元，到1993年飞速扩大到37 850亿日元。　　增加了24倍。这是一个朝气蓬勃的高科技领域 美国认为。光电技术是掌握将来信息时代的关键。　　机电一体化仪表（mechatronics）是精密仪器中采用了电子技术，使仪器性能大大提高，效率、附加值大为提高。　　光机电一体化仪器（Optomechatronics）是光学、机械、电子三个领域的融合-使仪器的性能更加提高。随着激光、光纤、微电子、计算机、高分子化学、软件等技术的发展，光机电一体化仪器将层出不穷。制造光机电一体化仪器的企业，将不局限于原来的光学行业。而扩大到其他各行各业。　　我们对于任何产品都可分为开发、摇篮。长成、成熟四个阶段。现将国内外许多公司竟将开发的。处于开发期的一些光机电一体化的现代科学仪器等领域的仪器和装置简单介绍如下。　　2 现代科学仪器和装置　　2.1 原子力显散镜（AFM）现代科学仪器1996 3如果原子之问接近到Inm（纳米）时，那么范蒋瓦尔斯力和静电力等将起作用 这时在金箔制成的悬臂的前端安装上金刚石。在样品表面上扫描，可测出悬臂的挠度。来求出表面的形状。可做成显微镜。这在晶体的观察、摩擦研究等领域将产生威力2.2 x线显徽镜因为显微镜的最小分辨距离，随着波长的缩短而减少的也就是波长缩短，显微镜的分辨率将增大。如果用短波长的x线作为光源，来做显微镜的话。那么光学显微镜的分辨率将提高10倍左右 如果一般显微镜为l 500倍，那么可以高达l万5干倍 在这种x线显傲镜中有利用波带板和反射镜的成象型x线显微镜和在试样上。用x线的斑点扫描的x线扫描显微镜2.3 半导体工艺应用加工装置随着信息通信仪器和家电产品的小型化。机构也要求小型化。在半导体工艺应用加工装置中，要应用蚀刻和平印技术。在微型机械加工和微细图案高精度加工装置中应用光机电一体化产品就成了可能。这种一体化装置弓1人注目。　　2.4 光电平印装置集成电路图样晒舨时，作为光源采用受激准分子激光器。在掩模基板上相位移动180。后利用光振幅干涉。互相抵消产生零的部分，可以转印出高对比的图案2.5 光化学气相沉积（CVD）装置这是用紫外线和激光照射时，在原料气体中，产生游离。在低温下形成薄膜的装置。现在是在研究中，将会早期实用化。　　2.6 三维显示利用全息技术的动态图象的三维显示，令人注目 特别是利甩这种技术的全息电影和全息电视的展开有很大希望　　2.7 平视显示器飞机的领航员和汽车驾驶员前进中，如实观察前方时。还要能读取各种仪器的显示 这是利用全息图的特殊分束装置 今后也许会在汽车上得到应用　　3 计量仪器和传感器　　在这个领域有四个方面 1人注目，那就是波导型传感器、纳米级计量及控制、半导体激光计量、在线加工计量。　　3.1 波导型传感器目前国际上光纤传感器在温度、压力、振动、变位等许多计量传感器中已经进行了实用化研究 作为将来的技术，在基底上形成的波导元件的研究弓f人注且。波导元件分成两类，一类是在基板的厚度方向上封人光的平板型波导，另一类是在基板的横向封人光的淘漕型波导 在平板型波导元件中。可以内含有光栅、透镜、可以应用于集成型拾光器、光谱仪和检偏镜。淘漕型波导中由于光在纵、横两个方向封人，波面信息消失。这种沟漕型波导可用于不需要波面信息的多普勒速度计、激光扫描微分干涉显微镜等。　　3.2 纳米级计在纳米级计量中，有平印线宽测定中位置重合精度为4rim的光外差检出系统以及用原子R度为基准的晶格（即硅的完美的晶体）切出的三块平行晶板制成的x线干涉仪。可以进行^级（1^ 0.1纳米或 10 。米）的超高精度的横向变位测定。　　3 3 半导体激光计量在半导体激光计量中，有相位移干涉仪和频率调制干涉仪等 所谓相位移干涉仪是在双光束干涉的2个光束之间。可 切换成3个等级，产生柑位差来测定光的强度，通过计算求出相位，达到高精度化。所谓频率诵制干涉仪，就是调制半导体激光器的频率，达到高精度测量的干涉仪。还有，把干涉条纹的光强度反馈给半导体激光器的注入电流，使相位差锁定的相位锁定干涉仪可以用于光纤温度传感器。此外，半导体激光器的共振腔与外部的反射镜和散射体构造复合共振器后，半导体激光器的输出会发生变化。这是众所周知的。利用这种现象的自耦合干涉仪，可以成为简便的变位传感器。