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一个简单的方法测定一个弱吸收薄膜的光学参数n,k,厚度d
摘要
我们提出了一个新的计算方法,用传统方法来推导一层透明介质薄膜所包围的不吸收介质的传输谱的干涉图样的光学常数。这个方法的特殊处,除了它比较简单外,它使直接的程序计算成为了可能;关于迭代法同序的精确性。
介绍
光的传输T的测定,通过一个在透明区域的平行的介电薄膜足够确定复折射率的实数和虚数部分,以及厚度t,Both Hall and Ferguson (1955) and Lyashenko and Miloslavskii(1964)发明了一种使用连续的近似值和插值去计算这三个数量的方法。在同样的适用和精密的范围内我们提出了一个相似的分析方法。我们的方法在两个方向上可以区分开Lyashenko and Miloslavskii(1964)n,k,tN和t的精确度将要被强调。
原理
图1展示了一个复折射率的薄膜,它的周围是折射率为n0和n1的两个传输介质。
图1
考虑到入射波的单位振幅,在正入射的情况下透射波的振幅为
(1)
其中t1,t2,r1,r2分别是薄膜的上下界面的透射系数和反射额系数。该层的透射率为: (2)这个准确的表达式在附录中给出了,在弱吸收(见附录)和的情况下 (3)
式中,且
(4)
K是薄膜的吸收系数。
通常,在基本吸收区域的外面或者自由载流子吸收下,n和k(5)
(6)(7)Lyashenko and Miloslavskii(1964)和最小值的包络线,图形2显示。方程6和方程7的比率为
(8)
图2 均匀厚度的SnO2薄膜的典型透射光谱
A simple method for the determination of the optical constants n, k and
the thickness of a weakly absorbing thin film
Abstract
We propose a new calculation following traditional methods for deducing optical constants and thickness from the fringe pattern of the transmission spectrum of a thin transparent dielectric film surrounded by non-absorbing media. The particular interest of this method, apart from its easiness, is that it makes a directly programmable calculation possible; the accuracy is of the same order as for the iteration method.
1、Introduction
The measurement of the transmission T of light through a parallel-faced dielectric film in the region of transparency is sufficient to determine the real and imaginary parts of the complex refractive index = n- ik, as well as the thickness t. Both Hall and Ferguson (1955) and Lyashenko and Miloslavskii (1964) developed a method using successive approximations and interpolations to calculate these three quantities. We propose a similar method of analysis in the sam
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