半导体工艺名词解答.docVIP

``半导体工艺名词及解答 影响工厂成本的主要因素有哪些？ 答：Direct Material 直接材料,例如:芯片 Indirect Material间接材料,例如气体… Labor人力 Fixed Manufacturing机器折旧,维修,研究费用……等 Production Support其它相关单位所花费的费用 在FAB内，间接物料指哪些？ 答：Gas 气体 Chemical 酸,碱化学液 PHOTO Chemical 光阻,显影液 Slurry 研磨液 Target 靶材 Quartz 石英材料 Pad Disk 研磨垫 Container 晶舟盒(用来放芯片) Control Wafer 控片 Test Wafe r测试,实验用的芯片 什么是变动成本(Variable Cost)? 答：成本随生产量之增减而增减.例如:直接材料,间接材料 什么是固定成本(Fixed Cost)? 答：此种成本与产量无关,而与每一期间保持一固定数额.例如:设备租金,房屋折旧及檵器折旧 Yield(良率)会影响成本吗?如何影响? 答：Fab yield= 若无报废产生,投入完全等于产出,则成本耗费最小CP Yield:CP Yield 指测试一片芯片上所得到的有效的IC数目。当产出芯片上的有效IC数目越多,即表示用相同制造时间所得到的效益愈大. 生产周期(Cycle