感器中的金属线路、金属桥点耐腐蚀性能的影响.docVIP

不同工艺设备条件对触摸屏传感器中的金属线路、金属桥点耐腐蚀的影响杨文娟1， （1.科学合肥物质科学研究院固体所， 230000） 摘要：条件触摸屏传感器金属线路、金属桥点重要影响因素。和设备条件中，表面温度，转速和镀膜功率等金属、金属桥点耐腐蚀性能是金属膜层的重要特性，直接决定了金属膜层的信赖性能。表面温度，转速和镀膜功率的表面温度的适度的镀膜功率下 关键词：表面温度转速镀膜功率 图表：工艺压力（Pa） P1 0.10 4.1 P2 P3 P4 P5 P6 P7 P8 0.15 0.20 0.25 0.30 0.35 0.40 0.45 4.3 5.3 4.3 3.9 3.2 2.5 2.0 表1 工艺压力与耐腐蚀时间表Tab. 1 Sample condition of corrosion resistance on different process pressure 图1 工艺压力薄膜表面粗糙度Fig.1 Thin film roughness on different process pressure 图2 工艺压力耐腐蚀关系 Fig.2 Corrosion time on different process pressure [参考文献] References [1] 卢铁城，程丙勋，等[D].四川大学物理学院，2007，5（1）：2~5。 EN