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一种利用机械共振原理的新型压力传感器_黄美超 一种利用机械共振原理的新型压力传感器 引言 常用的遥测流体压力的电气机械式压力传 感器,由机械敏感元件和电气变换器两大部分 组成。机械敏感元件(例如波纹管或膜片)用 于将压力转变为静态位移,电气变换器(例如 应变片或差动变压器)用于将位移转变为电压 或电流。这些常用的压力传感器有下列两大缺 点: (i)机械敏感元件总是在承受着来自前 后两个方向的压力,所以,在经历一个较长的 时间之后,元件不可避免地发生蠕变。 (2)当必须要求压力传感器体积很小 时,传感器内部的机械元件的位移必然是很小 的。这就要求放大器有很大的增益。 为了克服第二个缺点,采用过各种各样的 频率调制式传感器,因为频率比电压或电流更 容易进行精确的测量。但是,至今为止,还没有 一种传感器能够把上述两个缺点一起克服掉。 本文提出一种新型的电气机械式压力传感 器,它的输出信号是取决于压力的共振频率。 然后,用一个包含该压力传感器的振荡电路将 共振频率测量出来。 工作原理 虽然本传感器的工作原理适用于广阔的压 力范围和各种流体介质,但本文只讨论本传感 器在接近于大气压时的性能。 图1是传感器的结构形式。一块有效质量 为m的刚性板—振动平板四周是弹性支承膜,构成密闭腔的一个侧面壁。在密闭腔的刚 性侧壁上开有一个小孔,流体便通过小孔以待 侧的压力进入空腔中。 由绝热过程的声学理论得知,空腔内流体 的刚度由下式给出: 办扎、 (创只S卜\ 长泉t‘)、、 雕(体积v)\ ,,, 弹咋扶阅英 刁辰动平板 (询积5) 图1压力传感器 p压力 v空腔的体积 s振动平板的有效面积 忽略弹性支承膜的刚性,则共振频率为: 。。=(kv/m)’/’=(二见)’/’s(2) 所以,振荡周期T和归一化压力p之间的关系 为: TZ=(2二/。。)2二常数/p(3) 因此,观测T值就可测出归一化的压力P. 在附录中,我们将推导出更为精确的表达 式。T和p之间的精确关系是: T“二A+B/p(4) 上式中,A和B是常数,A由弹性支承膜的特 性决定。 必须注意,由于小孔和空腔的影响,存在 另一个共振频率。、: r、一frp‘S八‘l‘叼J卜一. — 一石一, \vpLh,(5) k二_三旦52 式中:r流体的比热系数 (1) 式中:p流体的密度 L、小孔的长度 51,小孔的截面积。 为了避免对主要共振生产不良的影响,共 振频率w、应比w。小得多。也就是说,小孔应 该尽可能的小和尽可能的长。 图2是用来测定w。的振荡电路,它包括 一个电气机械式传感器,一个机械电气式传感 器和一个放大器。电气机械式传感器用于使振动板发生振动;机械电气式传感器则用来检测 振动平板的振动或空腔内的声压力。这三个单 元构成一个同相反馈电路。 在实用中,常常要用两块弹性支承膜和两 个空腔(见图2),目的是避免振动板发生不 对称的振动。这和常用的直接辐射式扬声器膜 片相似。同时也是为了在不减小体积v的情况 下增加kv。有效体积用下式表示: V二v,vZ/(v:+vZ)(6) V比V,和V:都小。 恤JJ诱L仲0.7~) 耘耘破娜跳腻减减卜卜·呀呀尸.叫取」」 篡篡篡鬓鬓 『~亩Jlo。、、,,J、扎〔中0.20.) 图3模型1的剖视图 实验研究 模型1 图3所示的实验模型用电动传声器的零件 制成。两块聚对苯二酸乙烯(Polyethylenete- r叩hthalate)膜片平行对接,中间隔一个金属 环,由一个动圈式传感元件驱动。涂有铝层的 艺艺艺蓉蓉愁愁份概概蒸f共共共111一!汤汤丫不万万万 二.2 用普通的动圈式送话器零件做成,总质量为63克 0.03微秒。当压力由1.0大气压变到1.6大气压 时,输出信号的周期相应变化13.3%。这个数 值小于由(2)式算出的26%。 为了与精确的表达式(4)作比较,把实 验数据改换一种格式再画出来,从而得图5: 由图5可见,如果选定适当的常数A和B,则 曲线和数式十分吻合。另外还做过几个实验, 所用模型与图3的类似,结果发现: (1)本传感器所需的功率比通常用的声 学器件所需的功率小,因为它是在共振状态下 受驱动。 (2)传感器的响应时间小于几毫秒。 公爸匆谬田翁矛妞拚但图2包含压力传感器的振荡电路(小孔内空气的 质量和机械阻力分别记作mh和rh 弯形膜片的位移被一个静电元件转变为电信 号。由于驱动力和弯形膜片位移之间有90”的 相位差,所以,上述同相反馈电路需要一个附 加的微分电路。二极管限幅器其输出不是正弦 波而是类似于方波。可用于上述振荡电路,因 为传感器的频率选择性很尖锐。 测得弹性支承膜和空腔的刚度分别列为: ke=0.58X10.达因/厘米(7) kv=14x10。达因/厘米(8) 由此可见,ke显著地小于kv。 输出信号的周期