原子力显微镜在微纳操作中的应用研究报告.doc

研 究 生 课 程 论 文 (2013-2014学年) 原子力显微镜在微纳操作中的应用 研究生： 提交日期： 2014年 9 月 27 日 研究生签名： 学 号 学 院 华南理工大学机械与汽车工程学院 课程编号 S0001047 课程名称 基于机器人的纳米操作和自动化学术型学位硕士 图 1 原子间作用力-距离的关系曲线 在由于微悬壁的变形非常小，直接求取其变形是非常固难的，因而需要一此放大装置来方便检测形变。AFM利用接收照射在悬臂尖端的激光束的反射来检测微悬臂的形变。由于光杠杆作用原理，即使小于0.01nm的微悬臂形变也可在光电检测器上产生10nm左右的激光点位移，由此产生的电压变化对应着微悬臂的形变量，通过一定的函数变换便可得到悬臂形变量的测量值。当样品在XY平面内扫描时(对某一点其坐标为[x，y]) ，若保持样品在 Z 轴方向静止，且令探针的竖直初始位置为零，则可根据针尖与样品相互作用与间距的关系，得到样品表面的高度变化信息Δh(x，y)，即样品表面任意点(x，y)相对于初始位点的高度。对样品表面进行定域扫描便可得到此区域的表面形貌。 AFM主要由四大件组成：扫描探头、电子控制系统、计算机控制及软件系统、步进电机和自动逼近控制电路。图2是AFM工作原理示意图。半导体激光器发出激光束，经透镜汇聚打到探针头部，并发射进入四象限位置检测器