超薄表面膜的微分反射光谱分析
J.D.E.McINTYRE and D.E.ASPNES
贝尔电话实验室,股份有限公司,美利山,新泽西州07974,USA
对薄吸附膜的两相系统的反射性质的影响的讨论表明,该线性近似的归一化反射率改变降低了多相分层复杂的反射率表达式,给人直接的物理洞察这些属性系统,以及和物理兴趣相关的几个界面系统详细研究,并且结果推广到包括衰减全反射,部分覆盖,与平滑变化的光学性质接口。
简介
差分光谱目前用于调查固体的光学特性,来研究的形成和薄属性它们的表面上的薄膜,并检测中间体和异构产物化学和电化学反应。在后一种应用中,检测的灵敏度是常常比得上椭偏的。此外,由于反射率的改变可以快速地过程中测得的一个实验中,表面覆盖的实际过程由吸附物质可直接测定,即使是在另一个反应发生在表面。该技术是这样的重要性的机制的研究的多相催化。
在目前的通信中,我们考虑的非常薄的光学特性的表面薄膜,其厚度d是小于波长非常多,
,代表的是入射在表面上的单色辐射。结果表明通过有效期为,复杂的简单线性近似多相分层系统的反射率的表达式可以简化为一个简单的形式赋予直接的物理洞察这种属性系统。通过薄膜的形成所产生的反射率变化在基片上表面是与所述膜的厚度,表面覆盖,波长,和环境,膜的介电常数,及基板阶段相关联。线性近似理论的有效性检查的范围和电影的敏感性检测采用镜面和内部反射光谱进行比较。
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