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第五章 传感器与信号处理 本章学习内容 1. 了解机电一体化系统中常见物理量检测的方法。 5. 掌握机电一体化系统中几类常见的传感器结构、原理、功能。 3. 掌握检测系统中信号处理的工作原理。 第五章 传感器与信号处理 5.1 传感器概论 5.2 线位移检测传感器 5.3 角位移检测传感器 5.4 速度、加速度传感器 5.5 测力传感器 5.6 视觉传感器 5.7 其它传感器 5.8 传感器的正确选择和使用 5.9 检测信号的采集与处理 5.1 传感器概论 一、定义及分类: 1、定义:传感器是将力、温度、位移、速度等量转换成电信号的元件。“传感器技术是机电一体化的第一基础” “能感受(或响应)规定的被测量,并按照一定规律转换成可用信号输出的器件”——国家标准《传感器通用术语》 2、分类 (1)按能量变换的功能分 (2)按输出的信号分: 二、传感器的基本特性 1. 传感器的静特性 传感器的静态特性是指当被测量处于稳定状态下,传感器的输入与输出值之间的关系。传感器静态特性的主要技术指标有:线性度、灵敏度、迟滞和重复性等。 (1).线性度 传感器的线性度是指传感器实际输出—输入特性曲线与理论直线之间的最大偏差与输出满度值之比,即 二、传感器的基本特性 二、传感器的基本特性 (3).迟滞 传感器在正(输入量增大)反(输入量减小)行程中,输出——输入特性曲线不重合的程度称为迟滞,迟滞误差一般以满量程输出的百分数表示: 迟滞特性一般由实验方法确定,如图2-2所示。 2、 传感器的动态特性 传感器能测量动态信号的能力用动态特性表示。动态特性是指传感器测量动态信号时,输出对输入的响应特性。传感器动态特性的性能指标可以通过时域、频域以及试验分析的方法确定,其动态特性参数如:最大超调量、上升时间、调整时间、频率响应范围、临界频率等。 1、 新型传感器的开发 鉴于传感器的工作机理是基于各种效应和定律,由此启发人们进一步发现新现象、采用新原理、开发新材料、采用新工艺,并以此研制出具有新原理的新型物性型传感器,这是发展高性能、多功能、低成本和小型化传感器的重要途径。总之,传感器正经历着从以结构型为主转向以物性型为主的过程。 产生出新原理的传感器——(创造技法)强制联想法, 2、传感器的集成化和多功能化 随着微电子学、微细加工技术和集成化工艺等方面的发展,出现了多种集成化传感器。这类传感器,或是同一功能的多个敏感元件排列成线性、面型的阵列型传感器;或是多种不同功能的敏感元件集成一体,成为可同时进行多种参数测量的传感器;或是传感器与放大、运算、温度补偿等电路集成一体具有多种功能——实现了横向和纵向的多功能。 3、 传感器的智能化 “电五官”与“电脑”的相结合,就是传感器的智能化。智能化传感器不仅具有信号检测、转换功能,同时还具有记忆、存储、解析、统计处理及自诊断、自校准、自适应等功能。如进一步将传感器与计算机的这些功能集成于同一芯片上,就成为智能传感器。 5.2 线位移检测传感器 一、光栅位移传感器 二、感应同步器 2、工作原理 莫尔条纹移动 莫尔条纹具有如下特点: 1、莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例。光栅每移动过一个栅距W,莫尔条纹就移动过一个条纹间距B 2、莫尔条纹具有位移放大作用。莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为 3、莫尔条纹具有平均光栅误差的作用。 通过光电元件,可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号,如图所示。 将此电压信号放大、整形变换为方波,经微分转换为脉冲信号,再经辨向电路和可逆计数器计数,则可用数字形式显示出位移量,位移量等于脉冲数与栅距乘积。测量分辨率等于栅距。 二、感应同步器 包括定尺和滑尺,用制造印刷线路板的腐蚀方法在定尺和滑尺上制成节距 (一般为2mm)的方齿形线圈。定尺绕组是连续的,滑尺上分布着两个励磁绕组,分别称为正弦绕组和余弦绕组。当正弦绕组与定尺绕组相位相同时,余弦绕组与定尺绕组错开1/4节距。滑尺和定尺相对平行安装,其间保持一定间隙(0.05~0.2mm)。 1、感应同步器结构原理 2、感应同步器的工作原理 在滑尺的绕组中,施加频率为f(一般为2~10kHz)的交变电流时,定尺绕组感应出频率为f的感应电动势。感应电动势的大小与滑尺和定尺的相对位置有关。 设正弦绕组供电电压为Us,余弦绕组供电电压为Uc,移动距离为x,节距为 ,则正弦绕组单独供电时,在定尺上感应电势为 余弦绕组单独供电所产生的感应电势为 3、 测量方法 根据对滑尺绕组供电方式的不同,以及对输出电压检测方式的不同,感应同步器的测量方式有鉴相式和鉴幅式两
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