硅烷吹扫步骤.docVIP

硅烷吹扫步骤（以L瓶为例） 1、 在主画面中点LB/T（吹扫右瓶则点RB/T）进入下面画面; 2、 在此画面中点AUTOPURGE进入下面画面; 3、 先确定钢瓶阀门关闭，然后点START进入第一次清洗； 4、 第一次清洗完毕后在-L步骤进行负压保压，先观察第一次保压能顺利进行，之后二十分钟观察一次直至进行到C（更换钢瓶）步骤,共计260分钟，其中负压保压时间120分钟； 5、 更换钢瓶时注意每次都要更换垫片，把新钢瓶换上之后点击START继续进行更换后吹扫，在+L步骤时先观察第一次保压能顺利进行，之后二十分钟观察一次一直到如下画面； 6、 点击PROCESSMODE进入供气画面； 7、 点击PROCESS进入下面画面准备供气； 8、 点击CONFIRM一次，然后慢慢开钢瓶，至有压力显示时再往回关一点，然后慢慢全开，之后再点击三次CONFIRM至箭头全部变成红色。 9、 当处于此画面状态时表示L瓶已经准备好供气，若R瓶没有用完则L瓶处于待供气状态，不需要再点击任何按键；若R瓶已经用完则L瓶自动供气，点击右下角RBOTTLE按键开始R瓶吹扫步骤，R瓶吹扫步骤和L瓶相同。