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蔡鑫奇 专业：半导体器件 2014.5.14 一、比表面积及其意义 比表面积：单位体积或单位质量上颗粒的总表面积。 比表面积的意义： 固体有一定的几何外形，借通常的仪器和计算可求得其表面积。但粉末或多孔性物质表面积的测定较困难，它们不仅具有不规则的外表面，还有复杂的内表面。比表面积的测量，无论在科研还是工业生产中都具有十分重要的意义。一般比表面积大、活性大的多孔物，吸附能力强。 BET：Brunauer、Emmett和Teller名字的缩写； BET 测试理论是根据这三位科学家提出的多分子层吸附模型，并推导出单层吸附量 Vm 与多层吸附量 V 间的关系方程，即著名的 BET 方程； BET比表面积测试可用于测颗粒的比表面积、孔容、孔径分布以及氮气吸附脱附曲线。对于研究颗粒的性质有重要作用。 谢谢各位的聆听指导! * * * * BET比表面积法原理及分析 1 比表面积及其意义 2 BET法的概念 3 BET法测定原理 4 小结 5 测试操作流程及制样 二、BET法的概念 以氮气为吸附质，以氦气或氢气作载气，两种气体按一定比例混合，达到指定的相对压力，然后流过固体物质。当样品管放入液氮保温时，样品即对混合气体中的氮气发生物理吸附，而载气则不被吸附。这时屏幕上即出现吸附峰。 三. BET法测定原理 三. BET法测定原理 当液氮被取走时，样品管重新处于室温，吸附氮气就脱附出来，在屏