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測試標準： 附表5-1 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。 多餘之螺絲是否收回。 施工潔淨是否完整。 標籤是否張貼完整。 support是否固定完整。 管路是否歪斜。 4.3.4 UPW 施工潔淨之檢查： 施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。 品質檢查： 焊道是否有兩條均勻的線條。 管路是否歪斜（該正、直、平為主）。 預製DP，管路一律要Cap（如未Cap造成管件汙染）。 support架設為1.2米架一組（防止軟化）。 管路標籤貼法為1.5米貼一張。 P型管夾固定時，需加一層塑膠墊（防止P型夾覆到管線）。 端面後一律要以酒精擦拭 測試標準： 附表5-1 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。 4.3.5 Foundation 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。 品質檢查： 施工後一律要將地板下之環境清潔並復原。 鐵板固定在地板上之螺絲一律要鎖緊。 機台定位後一個星期內一定要將Seismic固定於機台。 地板切割後一定要修邊。 Foundation Move in至FAB後地板上一律鋪PVC布及鐵板。 Pedestal拔除後立即帶出FAB Pedestal拔除後，要立即塗上AB膠。 R/C Foundation施工完成一律要鋪PVC布。 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。 4.3.6 PCW 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。 品質之檢查： 焊道寬度不得大於7mm。 焊道外表氧化處不得用酸洗要使用鋼刷。 Support不得以牙條固定一律用C型鋼。 Support末端一律加護套。 P型管夾固定時，需加一層塑膠墊（防止P型夾覆到管線）。 管路標籤貼法為1.5米貼一張。 管路是否歪斜（該正、直、平為主）。 P型管夾之螺絲要鎖緊（如果鬆掉，可能造成管路掉落之危）。 法蘭片上之螺絲一律使用SUS材質。 軟管接點位要張貼軟管測試資料。 測試標準： 附表5-1 施工完工回復之狀況： 施工完成是否將現場復原。如高架地板是否復原現場鐵鋁屑是否清理…等等。 4.3.7 PV 施工潔淨之檢查： 針對潔淨管理規章，施工實一律要鋪設PVC布。 物料進入潔淨室必須擦拭乾淨，若是易發塵物品須包覆保鮮膜或其他防護。 愛護業主物品，禁止任意汙損刮傷或作永久記號。 維持暫存區及施工範圍之整齊清潔。 嚴禁五金、型鋼等材料未除油即進入潔淨室。 進行鋸、切等易發塵作業，須用無塵室專用吸塵器立即移除粉塵。 非經許可不得任意拆除其他系統之管線或附件，拆除後應負責復原的責任。 品質之檢查： 於施工作業地點應舖設PVC膠墊，備妥無塵室專用無塵室專用吸塵器，揮發性溶劑應使用SUS容器裝盛。 任何施工物料不得任意放置於地板上或地面上。 任何施工物料、機具進入Fab內，須於緩衝區以酒精或5%IPA之溶劑擦拭後方可攜入Fab。 切管工具刀片需時常檢視更換，以防止鈍化後影響施工品質。 使用切管器具應與管軸成９０度方向進行裁管，再施以倒角去除管緣毛邊且須檢視碎屑是否附著於管壁內。 清潔直管及另件接合面，並以符合ＮＳＦ標準之清潔劑塗抹清潔。 以符合ＮＳＦ標準之接合劑上兩道膠，一為橫向、一為縱向，均勻塗佈於直管及另件接合面。 迅速將直管插入另件套節內，同時旋轉直管１／４圈並推到底部為止。 持續施壓約１０～１５秒，以確保管件無滑脫現象。 以無塵布擦拭另件插口溢出之接合劑。 靜置約１～５分鐘待定型