激光技术实验自编教材.docVIP

激光技术实验讲义 光电子实验教学中心2005.10 目 录 目 录 2 实验一 精密位移量的激光干涉测量方法及实验 16 实验二：数字干涉测量方法及实验 19 实验三：面形的三维干涉测量及评价（PV值与RMS值） 22 实验四、光学系统的波差测量 23 实验五、光学系统的PSF及MTF评价 25 实验六 缝宽或间隙的衍射测量 28 实验七 微孔直径的衍射测量 31 实验八 巴俾特原理及细丝直径测量 33 实验九 变形的全场衍射测量 34 实验十 透镜的FT性质及常用函数与图形的光学频谱分析 37 实验十一 4f光学系统FT及IFT系统实验 39 实验十二 图像信息处理的光学实现 42 实验十三 光散斑的性质及测试方法 43 实验十四 面内位移的散斑测量 44 实验十五 形变的散斑测量 46 实验十六 速度的散斑测量 47 实验十七 激光共焦测量的原理及实验 48 实验十八 三维形貌层析的共焦测量 50 实验十九 位移的纳米测量方法 51 实验二十 微弱振动的纳米量级监视实验 53 实验二十一 光纤传感技术的原理实验 54 实验二十二 光纤传感的温度测量实验 57 实验二十三 光纤传感的压力测量实验 60 仪器概况 CSY－10L激光多功能光电测试系统实验仪（Laser Universal Opt