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三坐标测量机及其检测方法 （甄雯，北京电子科技职业学院） 三坐标测量机（Coordinate Measuring Machining，简称CMM）是一种具有几十年发展历史的新型高效精密测量仪器。它的出现，一方面是由于自动机床、数控机床高效率加工以及越来越多复杂形状零件加工需要有快速可靠的测量设备与之配套；另一方面是由于电子技术、计算机技术、数字控制技术以及精密加工技术的发展为三坐标测量机的产生提供了技术基础。现代CMM不仅能在计算机控制下完成各种复杂测量，而且还可以通过与数控机床交换信息，实现对加工的控制，并且还能够根据测量数据，实现逆向工程。目前，CMM已广泛用于机械制造、汽车、航空航天等工业部门，三坐标测量机已成为机械制造、工业设计及质量检测中必不可少的关键设备。 1 三坐标测量机的基本工作原理 几何量测量可分为一维、二维和三维测量，以点为最小测量单位并测量其坐标位置。三坐标测量的基本原理是被测量体放置在测量机工作台，通过测量头精密测量出被测量体在坐标系中（X、Y、Z三轴）的坐标位置，在通过软件运算将这些坐标位置的数值进行处理，再进行拟合形成图形，如平面、圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，从而算出尺寸、形状、位置公差及几何数据。 2 三坐标测量机的结构类型 三坐标测量机的结构类型常用的主要有：桥式、龙门式、水平悬臂式、关节臂式等，如图1所示。 桥式测量机是使用最为广泛的一种机构形式。其开敞性比较好，视野开阔，上下零件方便。运动速度快，精度比较高。龙门式测量机为中、大型和超大型测量机，适合于航空、航天、造船行业的大型零件或大型模具的测量。一般都采用双光栅、双驱动等技术，有较高的测量精度。悬臂式测量机优点是开敞性较好，但精度低，一般用于小型测量机。水平臂式测量机开敞性好，测量范围大，可以由两台机器共同组成双臂测量机，尤其适合汽车工业钣金件甚至整车机构的测量。关节臂式测量机具有非常好的灵活性，适合携带到现场进行测量，对环境条件要求比较低。 图1 常用三坐标测量机的结构类型 3 三坐标测量机的组成 三坐标测量机一般由测头系统（探头、吸盘、探针、读数头、光栅尺等）、硬件控制系统（控制柜、电气驱动系统）、软件系统（计算机系统、数据处理软件系统）及其它机械部件（花岗岩台面、三轴导轨、 减震垫、支撑基架等）所组成，如图2所示。 图2 三坐标测量机的组成 3.1 测头系统 测量头是三坐标测量机在测量工件时的关键部件，并很大程度影响着测量精度的高低。测量头分为接触式和非接触式两种。接触式测头在测量时直接接触工件，测头发送并回收测量信号；而非接触式测头时不需要实际接触工件。目前常用的测头为接触式测头，其应用范围广、种类多样，测量方便灵活。测头的主要形状如图3。 a.圆锥形测头 b.圆柱形测头 c.球形测头 d.半圆形测头 e.点测头 f.V型测头 g.盘形测头 h.星形测头 图3 常见用测头的形状 光栅系统是测量机的测长基准。光栅是刻有细密等距离刻线的金属或玻璃，读数头使用光学的方法读取这些刻线计算长度。为了便于计算由于温度变化造成光栅长度变化带来的误差，采用光栅一端固定，另一端放开，使其自由伸缩。另外在光栅尺座预置有温度传感器，便于有温度补偿功能的系统进行自动温度补偿。 3.2 硬件控制系统 控制柜是建立和保持测量机硬件系统与计算机软件相互联系的桥梁。操作盒使得操作者可手动控制测量机的机械运动，并可控制紧急情况、设置轴运动速度、设置复位状态功能。图3是一个便携式操作盒示意图及其功能说明。 图3 操作盒示意图及其按键功能说明 3.3 软件系统 准确、稳定、可靠、精度高、速度快、功能强大、操作方便是对测量机总体性能的要求。除硬件以外，软件也是测量机的重要组成部分。数据处理软件系统（测量软件），利用该软件，可把CAD数据转变成测量程序，从而获得准确无误的检测方案。就测量机的本体（包括测量头）而言，其作用是提取工件表面坐标点的工具。由于补偿技术的发展，算法、控制软件的改进，软件功能的增强，使得测量机软件成为决定测量机性能的主要因素，在很大程度上测量机的测量精度依赖于软件水平。 3.4 其它机械部件 工作台（一般采用花岗石），用于摆放零件支撑桥架。工作台放置零件时，一般要根据零件的形状和检测要求，选择适合的夹具或支撑。要求零件固定要可靠，不使零件受外力变形或其位置发生变化。导轨是气浮块运动的轨道，是测量机的基准之一。压缩空气中的油和水及空气中的灰尘会污染导轨，造成导轨道直线度误差变大，使测量机的系统误差增大，影响测量精度。小型测量机采用支架支撑测量机工作台，中、大型测量机一般采用千斤顶支撑工作台。都采用三点支撑，在一个支撑的一侧，有两个辅助支撑，只起保险作用。每个支撑都有一个海绵的减震垫，能够吸收振幅较小的震动。 4 三坐标测量机的具体测量步