SEM实验大字_24445.docVIP

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SEM实验大字_24445

《材料分析方法》实验 实验一 扫描电镜观测 一、【实验】:??? 物体微观形貌的观察二【实验目的】:扫描电镜原理、结构;用进行样品微观形貌观察三【实验原理】:扫描电镜(SEM)是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的电子,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。电子束与试样相互作用,产生二次电子背散射电子等物理信号,二次电子随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。四【实验】:-550?扫描电子显微镜(日本)-()五【实验步骤】:样品的制备1 ) 基本要求:试样在真空中能保持稳定含有水分的试样应先烘干除去水分。表面污染的试样,要在不破坏试样表面结构的前提下进行适当清洗,然后烘干。有些试样的表面、断口需要进行适当侵蚀,才能暴露某些结构细节,侵蚀后应将表面或断口清洗干净,然后烘干。2 ) 块状试样的制备:用导电胶把试样粘结在样品座上,即可放在扫描电镜中观察。对于非导电或导电性较差的材料,要先进行镀膜处理。?3 ) 粉末样品的制备:在样品座上先一层双面导电胶,将试样粉末撒在上面,粘牢,用吸耳球将表面未粘住的试样粉末吹去镀导电膜将粉末制备成悬浮液,滴在样品座上,待溶液挥发,粉末在样品座上附着粘牢。需镀导电膜,扫描电镜观察。?2.的基本操作开启稳压器及水循环系统;开启扫描电镜控制系统;样品室放气,将待测样品放入样品架;当真空度达到要求后,在一定的加速电压下微观形貌观察六【微观形貌分析】:  根据观察的对样品微观形貌进行综合,写实验报告。七【实验报告要求】:工整、过程,实验数据真实。八【】:描电子显微镜 4

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