传感器原理及检测技术_第4章_电容式传感器原理及其应用-A资料.ppt

第4章 电容式传感器 4.1 电容式传感器的工作原理和特性 4.2 电容式传感器的测量转换电路 4.3 电容式传感器的应用 4.4 电容式传感器的特点及设计改善措施 4.1 电容式传感器的工作原理和特性 4.1.1 电容式传感器的工作原理 电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件电容量的变化，再经过测量电路将电容量的变化转换成电信号输出。 电容式传感器实际上是一个可变参数的电容器。 平板电容器电容量表达式为： 三个参数都直接影响着电容量的大小。如果保持其中两个参数不变，而使另外一个参数改变，则电容量就将发生变化。 如果变化的参数与被测量之间存在一定函数关系，那么电容量的变化可以直接反映被测量的变化情况，再通过测量电路将电容量的变化转换为电量输出，就可以达到测量的目的； 电容式传感器通常可以分为三种类型：改变极板面积的变面积式；改变极板距离的变间隙式；改变介电常数的变介电常数式。 4.1.2 类型与结构形式及特性 （1）变面积型（线位移） 常用的线位移变面积型电容式传感器可分为平面线位移型和柱面线位移型两种结构。 对于平板状结构，在图4-5（a）中，两极板有效覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为： 式中， ，为初始电容值。 对