提高显微镜分辨率的最有效方法是采用短波长的照明光源 x射线和γ射线的波长都很短,但至今还无法使之有效地改变方向、折射和聚焦成像。1924年,德布罗意(De Broglie)发现电子波的波长比可见光的波长短十万倍;1926年,布什(Busch)指出轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦。这些理论的出现,表明可以采用电子波作为显微镜的光源。在1933年鲁斯卡(Ruska)等人设计并制造了世界上第一台透射电子显微镜。 电子显微镜的照明光源是电子波。电子波的波长取决于加速电压和电子的质量 我们把静电场的等位面做成凸透镜形状,那么平行电子束也将会聚在一个焦点上。图7-3是静电透镜的示意图,其中U1U2,相应的电力线方向如图所示。在垂直于电力线的方向画出等位面,其形状与凸透镜相似。当平行的电子束从低向高入射时,就会在圆筒轴线的某一点上聚焦。 由于静电透镜需要很强的电场,常在镜筒内产生弧光放电和电击穿,低真空度情况下尤为严重。静电透镜焦距不能很短,因而不能很好地矫正球差。现在制造的透射电子显微镜,静电透镜仅用于使电子枪中的阴极发射出的电子会聚成很细的电子束,而不用来成像。 通电的短线圈就是一个简单的磁透镜,它能造成一种不均匀分布的磁场,结果使电子做如图7-4所示的圆锥螺旋近轴运动。一束平行于主轴的入射电子通过电磁透镜将最终会聚于轴线上一点(即焦点)。 三、倒 置 显 微 镜 倒置显微镜(I
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